微纳件的转移方法

1.本发明涉及微系统异质集成技术领域，尤其涉及一种微纳件的转移方法。背景技术：2.将微纳尺度的材料和结构从其生长基底转移至目标器件基底的异质集成技术是微系统领域关键技术之一，实现了各功能单元的高密度集......

2024-07-27 90

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