一种MOEMS微镜的制备方法与流程

一种moems微镜的制备方法1.技术领域：本发明涉及微光机电技术领域，具体地说就是一种moems微镜的制备方法。2.背景技术：moems微镜是集成制造的微型光学元件和mems执行器，通过控制moems......

2024-07-27 76

#制备方法#流程#MOEMS