一种具有旋转输出特性的双四杆式压电微动平台

1.本发明涉及一种微动平台，具体涉及一种具有旋转输出特性的双四杆式压电微动平台。背景技术：2.微动平台作为微机电系统的关键组成部分，通常被应用于实现微纳尺度的定位控制以 及多维方向上的姿态调整，如用于......

2024-07-27 46

#特性#平台#双四杆式