一种基于MEMS代工模式的制备方法与流程

本发明涉及微机电系统芯片，具体而言，涉及一种基于mems代工模式的制备方法。背景技术：1、微机电系统(micro-electro-mechanical systems，mems)，也叫做微电子机械系统......

2024-07-27 44

#代工#制备方法#流程