一种MEMS六合一单片集成传感器及其制作方法

本发明涉及半导体器件，特别涉及一种mems单片集成多种功能的复合传感器。背景技术：1、mems(micro electro mechanical systems，微电子机械系统)是利用集成电路制造技术......

2024-07-27 13

#制作方法#传感器#六合一