一种高刚度的三维全解耦微动平台

本申请属于微纳加工，更具体地说，是涉及一种高刚度的三维全解耦微动平台。背景技术：1、三维全解耦微动平台因其精确性和加工的高效性等而被广泛应用于微纳结构的加工，三维全解耦微动平台主要通过驱动器来驱动各个......

2024-07-27 22

#刚度#平台#全解耦