一种微机械振子、F-P腔及微机械振子的制备方法

本发明属于mems器件领域，更具体地，涉及一种微机械振子、f-p腔及微机械振子的制备方法。背景技术：1、微电子机械系统技术(micro-electro-mechanical system，mems)的......

2024-07-27 65

#微机#制备方法#械振子