MEMS产品中桥腿刻蚀工艺的制作方法

本公开涉及半导体领域，更具体地涉及一种mems产品中桥腿刻蚀工艺。背景技术：1、mems产品经常用到桥腿结构。例如，图1示出示例性的mems产品的部分结构示意图，该mems产品为非制冷红外探测器的部分......

2024-07-27 83

#中桥#制作方法#工艺