MEMS离子栅门及制备方法

本发明属于离子迁移传感器技术，具体涉及到用于离子迁移传感器的微电机械系统(mems)离子栅门及制备方法，更具体地为mems离子栅门及制备方法。本发明可以提高离子栅门的电极密度、共面度和热稳定性，提升离......

2024-07-27 1

#栅门#离子#制备方法