用于封闭微机械装置的通气孔的激光密封方法与流程

本公开涉及用于封闭微机械装置的通气孔的激光密封方法。在一些特定实施例中，激光被施加到从通气孔偏移的沟槽。在一些特定实施例中，激光相对于微机械装置而倾斜。背景技术：1、各种微机械装置(例如，微机电系统(......

2024-07-27 19

#通气孔#微机#激光