本技术属于磷化氢尾气处理设备领域,具体为一种磷化氢尾气处理装置。背景技术:1、磷化氢又称磷烷,是一种对人体有剧毒的物质,医学毒理研究表明成人吸入250ppm的磷化氢气体便会迅速死亡,而暴露在30ppm......