一种高分辨率图像式圆光栅角位移测量装置

本发明涉及圆光栅角位移测量领域，更具体地说，涉及一种高分辨率图像式圆光栅角位移测量装置。背景技术：1、图像式光栅角位移测量装置是一种用于测量物体旋转角度变化的装置。它通常由一个光源、光栅器件、图像传感......

2024-07-30 79

#圆光#位移#高分辨率