一种新型三氯氧磷源瓶的制作方法

本技术涉及太阳能电池生产，尤其涉及一种新型三氯氧磷源瓶。背景技术：1、晶硅太阳能电池在制备时需要通过扩散工艺制备pn结，扩散制结工序中，大多数采用的都是三氯氧磷液态源扩散法，通过该法制备的pn结均匀性......

2024-07-30 39

#制作方法#三氯氧磷源瓶