一种铪基铁电器件及其制备方法和应用

本发明涉及微电子，尤其是涉及一种铪基铁电器件及其制备方法和应用。背景技术：1、当今时代是数字化的时代，物联网、生物医疗、自动驾驶、云计算等技术的发展需要数据计算及存储能力的进一步提高。在传统冯诺依曼架......

2024-08-02 99

#制备方法#电器#铪基铁