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  • 一种BOE蚀刻液及其应用的制作方法

    一种BOE蚀刻液及其应用的制作方法

    本发明涉及湿电子化学品应用，具体而言，涉及一种boe蚀刻液及其应用。背景技术：1、在集成电路和液晶显示面板的制备工艺中，硅基(氧化硅和氮化硅)材料具有非常重要的作用。如：元器件保护、电学性能隔离以及充......

    一种BOE蚀刻液及其应用的制作方法2024-08-02 21
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  • 一种BOE蚀刻液的制作方法

    一种BOE蚀刻液的制作方法

    本发明属于蚀刻液，涉及一种用于集成电路制成中氧化硅的boe蚀刻液。背景技术：1、作为ic(integrated circuit，即集成电路)制程中的关键材料，氧化硅具有保护和隔离器件、钝化表面、作为电......

    一种BOE蚀刻液的制作方法2024-08-02 99
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