一种抛光液及其制备方法和用途、聚醚型大分子有机物的用途及改善硅片抛光平整度的方法与流程

本发明涉及硅片加工中的化学机械抛光，特别是涉及一种抛光液及其制备方法和用途、聚醚型大分子有机物的用途及改善硅片抛光平整度的方法。背景技术：1、硅材料是目前为止半导体产业的主要材料。当今全球半导体市场中......

2024-08-02 90

#大分#用途#硅片