一种驱导测一体化直线运动装置

本发明涉及一种直线运动装置，特别涉及一种结构紧凑、精度高的驱导测一体化直线运动装置。背景技术：1、高精度的直线运动装置通常需要响应速度快稳定性好的电机、直线度高摩擦力小的导轨、以及分辨率高的光栅尺来分......

2024-08-05 64

#直线#装置#驱导测一体化