本发明涉及球化炉,公开了制造硅粉的节能型高纯化球化炉。背景技术:1、在使用节能型高纯化球化炉制造过程中的效率与纯度挑战。球形硅微粉作为关键材料,广泛应用于高端电子产品的覆铜板制造中,其性能受到制备技术......