本发明属于激光,尤其涉及一种基于ld泵浦翠绿宝石晶体的高重频193nm激光器。背景技术:1、本部分的陈述仅仅是提供了与本发明相关的背景技术信息,不必然构成在先技术。2、193nm激光位于深紫外波段(通......