SiGeHBT及其制造方法与流程

本公开涉及sige异质结双极晶体管(hbt)及其制造方法。背景技术：1、为了提供外界(或集成装置的其它部分)与sige异质结双极晶体管的本征基极区之间的电连接，通常借助于层组合来提供导电路径，所述层组......

2024-09-14 12

#流程#方法#SiGeHBT