一种硅基悬空弛豫GeSn结构的制备方法

本发明涉及gesn无源发光器件的制备领域，尤其涉及一种硅基悬空弛豫gesn结构的制备方法。背景技术：1、高效si基发光器件是si基光电集成回路中最具挑战性的器件之一。锗锡(ge1-xsnx)合金材料在......

2024-10-09 79

#制备方法#结构#GeSn