具有竖直止动件的MEMS加速计的制作方法

本文中所描述的主题的实施例涉及用于加速计中的微机电系统。背景技术：1、加速计可实施为微机电系统(mems)，其包括响应于加速而移动同时通过弹簧联接到衬底的质量块。质量块的运动可引起电路的电容的改变，所......

2024-10-21 66

#制作方法#止动件#MEMS