一种e31压电驱动的双轴MEMS微射镜

本发明涉及一种压电驱动的双轴微机电系统光学微型反射镜。背景技术：1、基于微机电系统(micro-electro-mechanical systems，mems)的微型反射镜(简称微镜)广泛应用于光学领......

2024-06-21 59

#MEMS#微射镜