一种双波长输出准分子激光器的制作方法

技术特征：
1.一种双波长输出准分子激光器，其特征在于：包括机架(1)，所述的机架(1)内设有用于容纳准分子激光生成介质并供准分子激光生成介质在内发生反应的准分子激光腔室(11)，所述的准分子激光腔室(11)内设有在通电后能够与向准分子激光生成介质放电而生成准分子激光的至少两个放电电极(2)，两个所述的放电电极(2)之间形成有能供准分子激光通过的光路通道(3)，所述的机架(1)上设有与准分子激光腔室(11)连通并对准分子激光腔室(11)内充arf混合气体的第一充气装置(4)和与准分子激光腔室(11)连通并对准分子激光腔室(11)内充krf混合气体的第二充气装置(5)，所述的机架(1)上并位于光路通道(3)上设有前腔镜(6)及用于将准分子激光反射至前腔镜(6)上的后腔镜组(7)，所述的机架(1)上还设有能够与准分子激光腔室(11)连通并用于对准分子激光腔室(11)抽真空的抽真空装置(8)。2.根据权利要求1所述的双波长输出准分子激光器，其特征在于：所述的后腔镜组(7)包括第一镜(71)，所述的第一镜(71)上贴附有用于反射193nm准分子激光和248nm准分子激光的第一反射膜(711)。3.根据权利要求1所述的双波长输出准分子激光器，其特征在于：所述的后腔镜组(7)包括第二镜(72)，所述的第二镜(72)的一侧贴附有用于反射193nm准分子激光及供248nm准分子激光穿透的第二反射膜(721)，所述的第二镜(72)另一贴附有用于反射248nm准分子激光的第三反射膜(722)。4.根据权利要求1所述的双波长输出准分子激光器，其特征在于：所述的后腔镜组(7)包括第三镜(73)和第四镜(74)，所述的第三镜(73)一侧贴附有用于反射193nm准分子激光及供248nm准分子激光穿透的第四反射膜(731)，所述的第四镜(74)的一侧贴附有用于反射248nm准分子激光的第五反射膜(741)。5.根据权利要求1所述的双波长输出准分子激光器，其特征在于：所述的前腔镜(6)设有多块且分别设于机架(1)前后两侧，所述的后腔镜组(7)包括前后设置的第五镜(75)和第六镜(76)，所述的第五镜(75)设于一前腔镜(6)的前侧，所述的第六镜(76)设于另一前腔镜(6)的前侧，且所述的第五镜(75)一侧贴附有用于反射193nm准分子激光及供248nm准分子激光穿透的一侧贴附有用于反射第六反射膜(751)，所述的第六镜(76)上贴附有能够反射248nm准分子激光及供193nm准分子激光穿透的第七反射膜(761)。6.根据权利要求1所述的双波长输出准分子激光器，其特征在于：所述的第一充气装置(4)包括与准分子激光腔室(11)连通并用于储存arf混合气体的第一储气瓶(41)，所述的第一储气瓶(41)上设有第一减压阀(42)，所述的第一储气瓶(41)上还连接有第一截止阀(43)。7.根据权利要求1所述的双波长输出准分子激光器，其特征在于：所述的第二充气装置(5)包括与准分子激光腔室(11)连通并用于储存krf混合气体的第二储气瓶(51)，所述的第二储气瓶(51)上设有第二减压阀(52)，所述的第二储气瓶(51)上还连接有第二截止阀(53)。8.根据权利要求1所述的双波长输出准分子激光器，其特征在于：所述的抽真空装置(8)包括与准分子激光腔室(11)连通并用于将准分子激光腔室(11)抽真空的真空泵(81)，所述的真空泵(81)上还设有用于吸收氟气的氟气收集装置(82)。

技术总结
本实用新型公开了一种双波长输出准分子激光器，包括机架，机架内设有准分子激光腔室，准分子激光腔室内设有至少两个放电电极，两个放电电极之间形成有能供准分子激光通过的光路通道，机架上设有与准分子激光腔室连通并对准分子激光腔室内充ArF混合气体的第一充气装置和与准分子激光腔室连通并对准分子激光腔室内充KrF混合气体的第二充气装置，机架上并位于光路通道上设有前腔镜及用于将准分子激光反射至前腔镜上的后腔镜组，机架上还设有能够与准分子激光腔室连通并用于对准分子激光腔室抽真空的抽真空装置。本实用新型目的是克服了现有技术的不足，提供一种能够生成多种波长的准分子激光的双波长输出准分子激光器。长的准分子激光的双波长输出准分子激光器。长的准分子激光的双波长输出准分子激光器。


技术研发人员：朱能伟 方晓东 游利兵
受保护的技术使用者：中山普宏光电科技有限公司
技术研发日：2022.09.26
技术公布日：2022/12/13