一种双波长输出准分子激光器的制作方法

一种双波长输出准分子激光器
【技术领域】
1.本实用新型涉及一种双波长输出准分子激光器。


背景技术：

2.193nm或248nm激光广泛应用在科研、工业和医疗领域。193nm或248nm激光可以通过更换后腔镜和工作气体来实现另外一种波长的输出。但是普通用户没有专业能力来更换另外一种波长的后腔镜和工作气体。即使有能力，也需要花费较高的费用请专业工程师来更换。
3.因此，根据需要仅进行简单的切换，就可以输出193nm或248nm，或者同时输出193nm和248nm的双波长准分子激光器具有重要的意义。
4.本实用新型正是基于上述不足研发而产生的。


技术实现要素：

5.本实用新型目的是克服了现有技术的不足，提供一种能够生成多种波长的准分子激光的双波长输出准分子激光器。
6.本实用新型是通过以下技术方案实现的：
7.一种双波长输出准分子激光器，包括机架1，所述的机架1内设有用于容纳准分子激光生成介质并供准分子激光生成介质在内发生反应的准分子激光腔室11，所述的准分子激光腔室11内设有在通电后能够与向准分子激光生成介质放电而生成准分子激光的至少两个放电电极2，两个所述的放电电极2之间形成有能供准分子激光通过的光路通道3，所述的机架1上设有与准分子激光腔室11连通并对准分子激光腔室11内充arf混合气体的第一充气装置4和与准分子激光腔室11连通并对准分子激光腔室11内充krf混合气体的第二充气装置5，所述的机架1上并位于光路通道3上设有前腔镜6及用于将准分子激光反射至前腔镜6上的后腔镜组7，所述的机架1上还设有能够与准分子激光腔室11连通并用于对准分子激光腔室11抽真空的抽真空装置8。
8.所述的后腔镜组7包括第一镜71，所述的第一镜71上贴附有用于反射193nm准分子激光和248nm准分子激光的第一反射膜711。
9.所述的后腔镜组7包括第二镜72，所述的第二镜72的一侧贴附有用于反射193nm准分子激光及供248nm准分子激光穿透的第二反射膜721，所述的第二镜72另一贴附有用于反射248nm准分子激光的第三反射膜722。
10.所述的后腔镜组7包括第三镜73和第四镜74，所述的第三镜73一侧贴附有用于反射193nm准分子激光及供248nm准分子激光穿透的第四反射膜731，所述的第四镜74的一侧贴附有用于反射248nm准分子激光的第五反射膜741。
11.所述的前腔镜6设有多块且分别设于机架1前后两侧，所述的后腔镜组7包括前后设置的第五镜75和第六镜76，所述的第五镜75设于一前腔镜6的前侧，所述的第六镜76设于另一前腔镜6的前侧，且所述的第五镜75一侧贴附有用于反射193nm准分子激光及供248nm
准分子激光穿透的一侧贴附有用于反射第六反射膜751，所述的第六镜76上贴附有能够反射248nm准分子激光及供193nm准分子激光穿透的第七反射膜761。
12.所述的第一充气装置4包括与准分子激光腔室11连通并用于储存arf混合气体的第一储气瓶41，所述的第一储气瓶41上设有第一减压阀42，所述的第一储气瓶41上还连接有第一截止阀43。
13.所述的第二充气装置5包括与准分子激光腔室11连通并用于储存krf混合气体的第二储气瓶51，所述的第二储气瓶51上设有第二减压阀52，所述的第二储气瓶51上还连接有第二截止阀53。
14.所述的抽真空装置8包括与准分子激光腔室11连通并用于将准分子激光腔室11抽真空的真空泵81，所述的真空泵81上还设有用于吸收氟气的氟气收集装置82。
15.与现有技术相比，本实用新型有如下优点：
16.1、本实用新型在使用时，启动抽真空装置，抽真空装置启动后将准分子激光腔室内的工作气体等气体抽出至大气外，抽真空完毕后，启动第一充气装置或第二充气装置，使得arf混合气体或者krf混合气体充满准分子激光腔室内，然后启动放电电极，此时放电电极对arf混合气体或者krf混合气体反应，从而发出对应的193nm或248nm的准分子激光，同时准分子激光通过光路通道、前腔镜组及后腔镜组的配合而出射至外部。
17.2、当然当单独充arf混合气时只产生193nm激光，单独充krf混合气只产生248nm激光，同时充arf混合气和krf混合气可同时产生193nm激光和248nm激光。本实用新型不仅能够发出单193nm激光和248nm激光，同时也能够在混合后同时发出193nm激光和248nm激光。使用时更方便，当需要高精度的193nm激光或248nm激光时，将原有的准分子激光腔室内的arf混合气体或者krf混合气体抽出然后灌入需求的气体即可做到。
【附图说明】
18.图1是本实用新型双波长输出准分子激光器的示意图之一；
19.图2是本实用新型双波长输出准分子激光器的示意图之二；
20.图3是本实用新型双波长输出准分子激光器中前腔镜组及后腔镜组第一种使用状态的视图；
21.图4是本实用新型双波长输出准分子激光器中前腔镜组及后腔镜组第二种使用状态的视图；
22.图5是本实用新型双波长输出准分子激光器中前腔镜组及后腔镜组第三种使用状态的视图；
23.图6是本实用新型双波长输出准分子激光器中前腔镜组及后腔镜组第四种使用状态的视图；
24.图7是本实用新型双波长输出准分子激光器中前腔镜组及后腔镜组第五种使用状态的视图；
25.图8是本实用新型双波长输出准分子激光器中前腔镜组及后腔镜组第六种使用状态的视图；
26.图9是本实用新型双波长输出准分子激光器中前腔镜组及后腔镜组第七种使用状态的视图；
27.图10是本实用新型双波长输出准分子激光器中前腔镜组及后腔镜组第八种使用状态的视图；
28.图11是本实用新型双波长输出准分子激光器中前腔镜组及后腔镜组第九种使用状态的视图。
29.下面结合附图对本实用新型作进一步描述：
30.如图1至11所示，本实用新型提供一种双波长输出准分子激光器，包括机架1，所述的机架1内设有用于容纳准分子激光生成介质并供准分子激光生成介质在内发生反应的准分子激光腔室11，所述的准分子激光腔室11内设有在通电后能够与向准分子激光生成介质放电而生成准分子激光的至少两个放电电极2，两个所述的放电电极2之间形成有能供准分子激光通过的光路通道3，所述的机架1上设有与准分子激光腔室11连通并对准分子激光腔室11内充arf混合气体的第一充气装置4和与准分子激光腔室11连通并对准分子激光腔室11内充krf混合气体的第二充气装置5，所述的机架1上并位于光路通道3上设有前腔镜6及用于将准分子激光反射至前腔镜6上的后腔镜组7，所述的机架1上还设有能够与准分子激光腔室11连通并用于对准分子激光腔室11抽真空的抽真空装置8。
31.本实用新型在使用时，启动抽真空装置8，抽真空装置8启动后将准分子激光腔室11内的工作气体等气体抽出至大气外，抽真空完毕后，启动第一充气装置4或第二充气装置5，使得arf混合气体或者krf混合气体充满准分子激光腔室11内，然后启动放电电极2，此时放电电极2对arf混合气体或者krf混合气体反应，从而发出对应的193nm或248nm的准分子激光，同时准分子激光通过光路通道3、前腔镜6及后腔镜组7的配合而出射至外部。当然当单独充arf混合气时只产生193nm激光，单独充krf混合气只产生248nm激光，同时充arf混合气和krf混合气可同时产生193nm激光和248nm激光。本实用新型不仅能够发出单193nm激光和248nm激光，同时也能够在混合后同时发出193nm激光和248nm激光。使用时更方便，当需要高精度的193nm激光或248nm激光时，将原有的准分子激光腔室11内的arf混合气体或者krf混合气体抽出然后灌入需求的气体即可做到。
32.如图3至4所示，所述的后腔镜组7包括第一镜71，所述的第一镜71上贴附有用于反射193nm准分子激光和248nm准分子激光的第一反射膜711。所述的第一反射膜711的膜面根据耐氟气腐蚀能量进行朝向配置，可以设置于第一镜71的前后两侧上。
33.如图5至6所示，所述的后腔镜组7包括第二镜72，所述的第二镜72的一侧贴附有用于反射193nm准分子激光及供248nm准分子激光穿透的第二反射膜721，所述的第二镜72另一贴附有用于反射248nm准分子激光的第三反射膜722。根据反射的需求可以将193nm准分子激光及供248nm准分子激光的反射设置在两张不同的膜上，使用更方便。
34.如图7至10所示，所述的后腔镜组7包括第三镜73和第四镜74，所述的第三镜73一侧贴附有用于反射193nm准分子激光及供248nm准分子激光穿透的第四反射膜731，所述的第四镜74的一侧贴附有用于反射248nm准分子激光的第五反射膜741。设置了前后两个第三镜73和第四镜74，使用时通过对应的第四反射膜731或第五反射膜741进行反射使得激光从前腔镜6中向外射出。或者同时射出上下两道不同波长的准分子激光。
35.如图11所示，所述的前腔镜6设有多块且分别设于机架1前后两侧，所述的后腔镜组7包括前后设置的第五镜75和第六镜76，所述的第五镜75设于一前腔镜6的前侧，所述的第六镜76设于另一前腔镜6的前侧，且所述的第五镜75一侧贴附有用于反射193nm准分子激
光及供248nm准分子激光穿透的一侧贴附有用于反射第六反射膜751，所述的第六镜76上贴附有能够反射248nm准分子激光及供193nm准分子激光穿透的第七反射膜761。此时本双波长输出准分子激光器能够通过第六反射膜751及第七反射膜761分别从前后两个不同的前腔镜6处射出向前或向后两道不同波长的准分子激光，同时使用两道激光，使用范围更广。
36.如图1所示，所述的第一充气装置4包括与准分子激光腔室11连通并用于储存arf混合气体的第一储气瓶41，所述的第一储气瓶41上设有第一减压阀42，所述的第一储气瓶41上还连接有第一截止阀43。第一截止阀43用于连通准分子激光腔室11与第一储气瓶41。
37.如图1所示，所述的第二充气装置5包括与准分子激光腔室11连通并用于储存krf混合气体的第二储气瓶51，所述的第二储气瓶52上设有第二减压阀52，所述的第二储气瓶51上还连接有第二截止阀53。第二截止阀53用户连通准分子激光腔室11与第二储气瓶52，且第一截止阀43和第二截止阀53配合用于向准分子激光腔室11内进行充气。
38.如图1所示，所述的抽真空装置8包括与准分子激光腔室11连通并用于将准分子激光腔室11抽真空的真空泵81，所述的真空泵81上还设有用于吸收氟气的氟气收集装置82。氟气为有害气体，因此需要进行收集，避免外泄而威胁使用者的安全。