一种硅片上下料机械手的制作方法

本技术涉及硅片上下料，尤其涉及一种硅片上下料机械手。

背景技术：

1、硅片是太阳能电池的重要材料，在加工过程中需要对硅片进行上传或下卸。

2、现有的硅片上下料方法大多由皮带传输来完成，这种设备占用空间大、机构复杂、灵活度低、响应慢、生产成本高，而较小的上下料机械手结构较为繁琐，伸缩范围较短且精度较短。

技术实现思路

1、为解决上述设备占用空间大、机构复杂、灵活度低、响应慢、生产成本高，以及传输过程中对硅片表面的磨损大，使得太阳能电池的转换效率降低的技术问题，本实用新型提供一种硅片上下料机械手。

2、本实用新型提供的硅片上下料机械手包括便于安装装置的安装座，所述安装座表面设置有垂直活动的升降台，且升降台顶端设置有二级伸缩机械手，二级伸缩机械手包括用于推动推拉板的伸缩设备以及固定设置于推拉板一侧的齿条，且齿条上方啮合有齿轮，齿轮通过同步轴、第一同步带、第一同步轮、第二同步轮以及第二同步带传动滑块水平移动，且滑块上方设置有用于取放硅片的料叉。

3、优选的，所述升降台一侧设置有第二驱动设备，且第二驱动设备的动力输出端连接有旋转台，旋转台顶端设置有固定块，且固定块一侧设置有伸缩设备，固定块顶端与齿条活动连接。

4、优选的，所述旋转台顶端设置有固定板，且固定板表面设置有两组通孔，每组通孔内部分别设置有同步轴，其中一组同步轴一端与齿轮相连接，另一端设置有第一同步轮，另一组同步轴一端设置有另一组第一同步轮，且两组第一同步轮之间设置有用于传动的第一同步带。

5、优选的，另一组所述同步轴远离第一同步轮的一端设置有第二同步轮，固定块顶端设置有滑轨，滑轨一侧设置有另一组第二同步轮，且两组第二同步轮之间设置有用于传动的第二同步带。

6、优选的，所述滑块设置于滑轨顶端，且滑块一侧设置有连接件，连接件远离滑块的一端与第二同步带表面相连接。

7、优选的，所述安装座表面设置有两组板块，且两组板块之间设置有升降机构，升降机构包括设置于位于下方板材表面的第一驱动设备以及设置于板材底部的两组转动轮，且两组转动轮之间设置有用于传动的传动带，其中一组转动轮与第一驱动设备的动力输出端相连接，另一组转动轮与升降丝杆相连接，且升降丝杆表面与升降台内部所开设的螺纹孔螺纹连接。

8、与相关技术相比较，本实用新型提供的硅片上下料机械手具有如下有益效果：

9、在需要对硅片进行上下料时，本申请将安装座安装在合适位置，在对升降台的高度调整至与硅片相持平，之后，通过伸缩设备推动推拉板进行往复活动，从而带动齿条往复活动，由于齿条与齿轮相啮合，在齿条移动时带动齿轮转动，从而通过齿轮对同步轴、第一同步带、第一同步轮、第二同步轮以及第二同步带进行传动，再利用第二同步带带动滑块水平移动，再通过滑块带动料叉水平移动，从而对硅片进行取放，且本申请可升降，料叉可伸缩，并可360度旋转，结构精巧，输送精准。

技术特征：

1.一种硅片上下料机械手，包括便于安装装置的安装座(1)，其特征在于，所述安装座(1)表面设置有垂直活动的升降台(2)，且升降台(2)顶端设置有二级伸缩机械手(3)，二级伸缩机械手(3)包括用于推动推拉板(33)的伸缩设备(32)以及固定设置于推拉板(33)一侧的齿条(34)，且齿条(34)上方啮合有齿轮(7)，齿轮(7)通过同步轴(8)、第一同步带(9)、第一同步轮(10)、第二同步轮(11)以及第二同步带(12)传动滑块(14)水平移动，且滑块(14)上方设置有用于取放硅片的料叉(15)。

2.根据权利要求1所述的硅片上下料机械手，其特征在于，所述升降台(2)一侧设置有第二驱动设备(5)，且第二驱动设备(5)的动力输出端连接有旋转台(6)，旋转台(6)顶端设置有固定块(31)，且固定块(31)一侧设置有伸缩设备(32)，固定块(31)顶端与齿条(34)活动连接。

3.根据权利要求2所述的硅片上下料机械手，其特征在于，所述旋转台(6)顶端设置有固定板，且固定板表面设置有两组通孔，每组通孔内部分别设置有同步轴(8)，其中一组同步轴(8)一端与齿轮(7)相连接，另一端设置有第一同步轮(10)，另一组同步轴(8)一端设置有另一组第一同步轮(10)，且两组第一同步轮(10)之间设置有用于传动的第一同步带(9)。

4.根据权利要求3所述的硅片上下料机械手，其特征在于，另一组所述同步轴(8)远离第一同步轮(10)的一端设置有第二同步轮(11)，固定块(31)顶端设置有滑轨，滑轨一侧设置有另一组第二同步轮(11)，且两组第二同步轮(11)之间设置有用于传动的第二同步带(12)。

5.根据权利要求4所述的硅片上下料机械手，其特征在于，所述滑块(14)设置于滑轨顶端，且滑块(14)一侧设置有连接件(13)，连接件(13)远离滑块(14)的一端与第二同步带(12)表面相连接。

6.根据权利要求1所述的硅片上下料机械手，其特征在于，所述安装座(1)表面设置有两组板块，且两组板块之间设置有升降机构(4)，升降机构(4)包括设置于位于下方板材表面的第一驱动设备(41)以及设置于板材底部的两组转动轮(42)，且两组转动轮(42)之间设置有用于传动的传动带(43)，其中一组转动轮(42)与第一驱动设备(41)的动力输出端相连接，另一组转动轮(42)与升降丝杆(44)相连接，且升降丝杆(44)表面与升降台(2)内部所开设的螺纹孔螺纹连接。

技术总结本技术提供一种硅片上下料机械手，具体涉及硅片上下料技术领域，包括安装座，安装座表面设置有垂直活动的升降台，且升降台顶端设置有二级伸缩机械手，二级伸缩机械手包括用于推动推拉板的伸缩设备以及固定设置于推拉板一侧的齿条，齿条上方啮合有齿轮，齿轮通过同步轴、第一同步带、第一同步轮、第二同步轮以及第二同步带传动滑块水平移动，本技术通过伸缩设备推动推拉板进行往复活动，从而带动齿条往复活动，由于齿条与齿轮相啮合，在齿条移动时带动齿轮转动，通过齿轮对同步轴、第一同步带、第一同步轮、第二同步轮以及第二同步带进行传动，再利用第二同步带带动滑块水平移动，再通过滑块带动料叉水平移动，从而对硅片进行取放。技术研发人员：黄辉,陈运生,洪波,夏燕钦受保护的技术使用者：杭州循泽半导体设备有限公司技术研发日：20230821技术公布日：2024/5/29