气弹簧安装治具及安装方法与流程

本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种气弹簧安装治具及安装方法。

背景技术：

1、在半导体芯片的制造设备中，气弹簧是设备常用的部件之一。在半导体设备的保养维护过程中，如何精确且快捷地安装气弹簧对于提升设备维护效率至关重要。

2、目前，在业界常规的维护流程中，一般通过维护人员手动压缩气弹簧至安装所需的气弹簧行程后，由人工维持气弹簧行程并移动气弹簧至安装位置。

3、然而，由人力维持气弹簧行程不但容易打滑而导致脱落，高标称力的气弹簧也会使维护人员因疲劳力尽导致无法维持设定所需的气弹簧行程，导致安装位置或安装行程出现偏离，使安装过程出现返工。

4、对此，业界虽然也提出了一些用于气弹簧安装的治具，但这些气弹簧安装治具仍有治具体积偏大、可固定的气弹簧结构种类有限等缺陷，从而限制了其使用场景，或者气弹簧安装治具的气弹簧固定结构不够稳固，从而导致容易出现滑动偏移，甚至造成人身伤害。

5、因此，有必要提出一种新的气弹簧安装治具及安装方法，解决上述问题。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种气弹簧安装治具及安装方法，用于解决现有技术中因气弹簧安装困难且容易偏移的问题。

2、为实现上述目的及其它相关目的，本发明提供了一种气弹簧安装治具，所述气弹簧包括套筒和活塞杆，所述套筒套设于所述活塞杆的一端，并与所述套筒形成内部充有气体的密封腔结构；所述套筒远离所述活塞杆的一端设有套筒接头，所述活塞杆远离所述套筒的一端设有活塞杆接头；

3、所述气弹簧安装治具包括：

4、多个治具底板，多个所述治具底板相互连接以形成治具底板组，将所述治具底板组中沿所述气弹簧轴向延伸的方向定义为长度方向，将垂直于所述治具底板平面的方向定义为高度方向，将垂直于所述长度方向和所述高度方向的方向定义为宽度方向；

5、后支座，所述后支座固定于所述治具底板组的一端，其用于固定所述活塞杆接头；

6、执行机构，所述执行机构固定于所述治具底板组远离所述后支座的一端，包括前支座、滑块与丝杠，通过所述滑块在所述丝杠上的活动，使固定于所述滑块上的所述前支座卡固所述套筒接头；所述前支座与所述后支座共同定位所述气弹簧在其轴向及径向上的位置；

7、至少两个对心机构，所述对心机构固定于所述治具底板组上，位于所述后支座与所述执行机构之间，用于固定所述气弹簧在所述宽度方向上的位置。

8、在一可选方案中，所述治具底板的上表面和下表面分别设有相互配合的凸槽和凹槽；多个所述治具底板通过所述凸槽和所述凹槽相互固定并形成所述治具底板组。

9、在一可选方案中，所述执行机构还包括高度支撑架；所述高度支撑架位于所述执行机构中靠近所述气弹簧的一端，用于固定所述气弹簧在所述高度方向上的位置。

10、在一可选方案中，所述对心机构包括成对设置的对心板、对心板导轨、对心支撑板和调整螺丝；所述对心板固定于所述对心板导轨上，并通过设置于所述对心支撑板的调整螺丝调整所述对心板在所述对心板导轨上的位置。

11、在一可选方案中，所述对心机构还包括设置于所述对心板顶部的高度压块，所述高度压块用于固定所述气弹簧在所述高度方向上的位置。

12、在一可选方案中，所述活塞杆接头具有球凸结构，所述后支座面向所述前支座的一侧设有卡固所述球凸结构的球形凹槽。

13、在一可选方案中，所述套筒接头具有球凸结构，所述前支座面向所述后支座的一侧设有卡固所述球凸结构的球形凹槽。

14、在一可选方案中，所述后支座通过导向柱固定于所述治具底板上，并通过调整螺丝和所述导向柱调节其在所述高度方向上的位置。

15、在一可选方案中，所述治具底板的侧面还设有把手，所述把手用于在安装所述气弹簧时握持移动固定所述气弹簧的所述治具底板组。

16、本发明还提供一种气弹簧的安装方法，包括如下步骤：

17、提供如本发明所述的气弹簧安装治具；

18、将气弹簧放置于所述后支座与所述前支座之间，所述活塞杆接头固定于所述后支座上，使所述气弹簧的轴向方向平行所述长度方向；

19、调节所述对心机构，使对心机构的对心板从所述宽度方向夹持所述气弹簧；

20、通过调节所述滑块在所述丝杠上的位置，使所述前支座卡固所述套筒接头，并使所述气弹簧压缩至安装所需的气弹簧行程；

21、将所述气弹簧安装治具移动至所述气弹簧的安装位置，并在所述气弹簧完成安装后，松开所述后支座、所述前支座和所述对心板的固定，使所述气弹簧与所述气弹簧安装治具分离。

22、如上所述，本发明提供的气弹簧安装治具及安装方法，通过引入多个治具底板构成治具底板组并通过其他机构的巧妙设计及配合，有效减少了治具占用空间，并可有效地从长度、宽度和高度三个方向定位固定气弹簧，提高了安装质量和安装效率。

技术特征：

1.一种气弹簧安装治具，其特征在于，所述气弹簧包括套筒和活塞杆，所述套筒套设于所述活塞杆的一端，并与所述套筒形成内部充有气体的密封腔结构；所述套筒远离所述活塞杆的一端设有套筒接头，所述活塞杆远离所述套筒的一端设有活塞杆接头；

2.根据权利要求1所述的气弹簧安装治具，其特征在于，所述治具底板的上表面和下表面分别设有相互配合的凸槽和凹槽；多个所述治具底板通过所述凸槽和所述凹槽相互固定并形成所述治具底板组。

3.根据权利要求1所述的气弹簧安装治具，其特征在于，所述执行机构还包括高度支撑架；所述高度支撑架位于所述执行机构中靠近所述气弹簧的一端，用于固定所述气弹簧在所述高度方向上的位置。

4.根据权利要求1所述的气弹簧安装治具，其特征在于，所述对心机构包括成对设置的对心板、对心板导轨、对心支撑板和调整螺丝；所述对心板固定于所述对心板导轨上，并通过设置于所述对心支撑板的调整螺丝调整所述对心板在所述对心板导轨上的位置。

5.根据权利要求4所述的气弹簧安装治具，其特征在于，所述对心机构还包括设置于所述对心板顶部的高度压块，所述高度压块用于固定所述气弹簧在所述高度方向上的位置。

6.根据权利要求1所述的气弹簧安装治具，其特征在于，所述活塞杆接头具有球凸结构，所述后支座面向所述前支座的一侧设有卡固所述球凸结构的球形凹槽。

7.根据权利要求1所述的气弹簧安装治具，其特征在于，所述套筒接头具有球凸结构，所述前支座面向所述后支座的一侧设有卡固所述球凸结构的球形凹槽。

8.根据权利要求1所述的气弹簧安装治具，其特征在于，所述后支座通过导向柱固定于所述治具底板上，并通过调整螺丝和所述导向柱调节其在所述高度方向上的位置。

9.根据权利要求1所述的气弹簧安装治具，其特征在于，所述治具底板的侧面还设有把手，所述把手用于在安装所述气弹簧时握持移动固定所述气弹簧的所述治具底板组。

10.一种气弹簧安装治具的安装方法，其特征在于，包括如下步骤：

技术总结本发明提供一种气弹簧安装治具及安装方法。气弹簧包括套筒、活塞杆、套筒接头和活塞杆接头；气弹簧安装治具包括：多个治具底板，其相互连接以形成治具底板组；固定于治具底板组一端的后支座，其用于固定活塞杆接头；执行机构，固定于治具底板组远离后支座的一端，包括前支座、滑块与丝杠，通过滑块在丝杠上的活动，使固定于滑块上的前支座卡固套筒接头；前支座与后支座共同定位气弹簧在其轴向及径向上的位置；至少两个对心机构，固定于治具底板组上，用于固定气弹簧在宽度方向上的位置。本发明通过引入多个治具底板构成治具底板组，有效减少了治具占用空间，并可有效地从长度、宽度和高度三个方向定位固定气弹簧，提高了安装质量和安装效率。技术研发人员：李洋,蔡军,陈金良,宋维聪受保护的技术使用者：上海陛通半导体能源科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/5