垫和末端执行器的制作方法

本发明的例示性的实施方式涉及垫和末端执行器。

背景技术：

1、用于输送基片的输送装置具有输送用机器人。下述的专利文献1中公开的基片输送装置，为了防止输送用机器人的手部上的基片的滑动，在手部的上表面具有垫。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2017-208451号公报

技术实现思路

1、发明要解决的技术问题

2、本发明提供能够抑制末端执行器上的基片的位置偏移的技术。

3、用于解决技术问题的手段

4、在一个例示性的实施方式中，提供一种基片输送装置的末端执行器用的垫。垫包括基部和主部。主部在第1方向上与基部相连。主部包括下表面、第1端、第2端和上表面。下表面在与第1方向交叉的方向上从基部伸出。第1端为主部的在与第1方向正交的第2方向上的一端。第2端为主部的在第2方向上的另一端。第2端使主部和垫在第2方向上终止。包括下表面的基准面与上表面之间的距离，随着从第1端向第2端去而增加。上表面在第2端相对于基准面具有最大的高度。主部具有弹性。主部在第2端的下方形成有空间。

5、发明效果

6、采用一个例示性的实施方式，能够抑制末端执行器上的基片的位置偏移。

7、通过将下面的详细说明与附图一起考虑并参照，能够更好地理解并容易地得到发明和与其相伴的多个优点的更完全的理解。

技术特征：

1.一种垫，其为基片输送装置的末端执行器用的垫，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的垫，其特征在于：

3.如权利要求1或2所述的垫，其特征在于：

4.如权利要求1或2所述的垫，其特征在于：

5.如权利要求4所述的垫，其特征在于：

6.如权利要求1或2所述的垫，其特征在于：

7.如权利要求6所述的垫，其特征在于：

8.如权利要求1或2所述的垫，其特征在于：

9.如权利要求1或2所述的垫，其特征在于：

10.一种末端执行器，其特征在于，包括：

11.如权利要求10所述的末端执行器，其特征在于：

12.如权利要求11所述的末端执行器，其特征在于：

13.如权利要求12所述的末端执行器，其特征在于：

14.如权利要求13所述的末端执行器，其特征在于：

15.如权利要求13或14所述的末端执行器，其特征在于：

技术总结本发明提供能够抑制末端执行器上的基片的位置偏移的垫和末端执行器。本发明的末端执行器用的垫包括基部和主部。主部在第1方向上与基部相连。主部包括下表面、第1端、第2端和上表面。下表面在与第1方向交叉的方向上从基部伸出。第1端为主部的在与第1方向正交的第2方向上的一端。第2端为主部的在第2方向上的另一端。第2端使主部和垫在第2方向上终止。包括下表面的基准面与上表面之间的距离，随着从第1端向第2端去而增加。上表面在第2端相对于基准面具有最大的高度。主部具有弹性。主部在第2端的下方形成有空间。技术研发人员：长田英之,桥本康矢受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社技术研发日：技术公布日：2024/6/11