一种晶圆盒搬运机械手的移动装置的制作方法

本技术涉及机械手搬运，具体为一种晶圆盒搬运机械手的移动装置。

背景技术：

1、半导体晶圆厂为了存储加工的晶圆，通常会设置晶圆载具存储设备，主要用于洁净室内半导体生产工序及工序之间晶圆盒的存储。根据无尘室的内部空间，若纵向空间大，为充分利用空间，可进行多层存储，即塔式晶圆存储柜，实现空间最大化利用及跨楼层传送。

2、为满足晶圆的输送，需给移栽机械手提供高度方向的运动方式。通常晶圆存储柜的移栽机械手高度方向运动通过直线模组实现。但是直线模组的长度固定，空间高度的改变需要替换不同长度的直线模组，但是通用长度的直线模组的适配度有限，会存在长度不够或者长度过长的情况。而且通用直线模组的长度有限。对于高度很大需要跨楼层的设备而言并不适用。若让直线模组与晶圆存储柜适配度高，需要额外定制长度适配的直线模组，成本高昂，且不具备应用于其它空间的通用性。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对现有移栽机器人在跨楼层设备进行高度方向运动困难大的问题，提供一种晶圆盒搬运机械手的移动装置。

2、为实现上述目的，本实用新型采用了以下技术方案：

3、一种晶圆盒搬运机械手的移动装置，包括主体、带轮机构和安装架。

4、主体由多个型材首尾吻合拼接而成。

5、带轮机构包括传动轮、皮带、连接件和驱动件；至少两个传动轮同轴设置且为一组，两组传动轮分别转动连接在主体的两端；皮带套设在两组传动轮的外表面且齿纹啮合；连接件连接皮带两端，与皮带共组成一个闭环；驱动件安装在主体的其中一端部，并与其中一组传动轮连接，以驱动传动轮转动。

6、安装架与连接件可拆卸连接，用于安装搬运机械手。

7、进一步的，相邻的两型材首尾插接并吻合，并通过至少一个组装板螺栓连接在两个相邻型材的接缝处。

8、进一步的，连接件包括限位板和连接螺栓；限位板的首尾两端开口设置且其侧部水平螺纹连接有连接螺栓，皮带的两端分别从限位板的首尾两端进入到限位板内，并通过连接螺栓与限位板锁合成一个闭环。

9、进一步的，限位板包括矩形框和隔板；连接螺栓从矩形框外侧进入至内部并与矩形框螺纹连接，隔板沿连接螺栓的长度方向滑动设置在矩形框内，矩形框内部背离连接螺栓的一面设置有与皮带适配的齿纹，隔板面向连接螺栓的一面设置与皮带适配的齿纹，皮带的两端分别贴合隔板和矩形框具有齿纹的一面。

10、进一步的，限位板包括第一支板、第二支板和第三支板；第一支板和第二支板凹凸配合且通过螺丝连为一体，第三支板通过连接螺栓与第二支板连为一体，皮带的其中一端位于第一支板和第二支板内，另一端位于第二支板和第三支板内。

11、进一步的，驱动件包括驱动电机和联轴器；驱动电机安装在主体的一端且其输出轴通过联轴器与传动轮的中轴连接。

12、进一步的，主体靠向连接件的一侧外部沿其长度方向嵌有齿条，安装架的内侧安装有可伸缩移动的棘爪，棘爪的棘齿端进入齿条内以阻隔安装架下落。

13、进一步的，主体靠向连接件的一侧两端外边角沿其长度方向对称嵌有辅轨，安装架上活动连接与辅轨适配的辅助滑轮，辅助滑轮的外周壁与辅轨相接触。

14、进一步的，主体与安装架之间还安装有坦克链，用于线缆走线。

15、进一步的，主体的外围连接有防护板，以遮蔽带轮机构。

16、与现有技术相比，本实用新型的有益效果包括：

17、1、本实用新型通过拼接的主体以及带轮机构的配合实现搬运机械手跨楼层移栽晶圆盒的功能，和现有长度固定的直线模组相比，更具有灵活性，能够根据不同的高度灵活调整长度，拼接成与实际高度适配的长度，适应实际空间大小，解决高度不匹配安装困难的问题，拼接的方式也便于维保以及后期的更换拆卸；

18、2、本实用新型通过棘爪和齿条的配合能够在带轮断裂的时候或者安装架达到指定位置时对安装架进行限位，防止机械手跟随安装架坠落，保障装置的安全性；同时还设置辅轨以及辅助滑轮提高安装架在主体上下移动的平稳性，进而保障搬运机械手运行的稳定性和精确度。

技术特征：

1.一种晶圆盒搬运机械手的移动装置，其用于搬运机械手在塔式晶圆存储柜纵向移动，其特征在于，其包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆盒搬运机械手的移动装置，其特征在于，相邻的两型材(11)首尾插接并吻合，并通过至少一个组装板(12)螺栓连接在两个相邻型材(11)的接缝处。

3.根据权利要求1所述的晶圆盒搬运机械手的移动装置，其特征在于，连接件(23)包括限位板(231)和连接螺栓(232)；限位板(231)的首尾两端开口设置且其侧部水平螺纹连接有连接螺栓(232)，皮带(22)的两端分别从限位板(231)的首尾两端进入到限位板(231)内，并通过连接螺栓(232)与限位板(231)锁合成一个闭环。

4.根据权利要求3所述的晶圆盒搬运机械手的移动装置，其特征在于，限位板(231)包括矩形框(2301)和隔板(2302)；连接螺栓(232)从矩形框(2301)外侧进入至内部并与矩形框(2301)螺纹连接，隔板(2302)沿连接螺栓(232)的长度方向滑动设置在矩形框(2301)内，矩形框(2301)内部背离连接螺栓(232)的一面设置有与皮带(22)适配的齿纹，隔板(2302)面向连接螺栓(232)的一面设置有与皮带(22)适配的齿纹，皮带(22)的两端分别贴合隔板(2302)和矩形框(2301)具有齿纹的一面。

5.根据权利要求3所述的晶圆盒搬运机械手的移动装置，其特征在于，限位板(231)包括第一支板(2303)、第二支板(2304)和第三支板(2305)；第一支板(2303)和第二支板(2304)凹凸配合且通过螺丝连为一体，第三支板(2305)通过连接螺栓(232)与第二支板(2304)连为一体，皮带(22)的其中一端位于第一支板(2303)和第二支板(2304)内，另一端位于第二支板(2304)和第三支板(2305)内。

6.根据权利要求1所述的晶圆盒搬运机械手的移动装置，其特征在于，驱动件(24)包括驱动电机(241)和联轴器(242)；驱动电机(241)安装在主体(1)的一端且其输出轴通过联轴器(242)与传动轮(21)的中轴连接。

7.根据权利要求1所述的晶圆盒搬运机械手的移动装置，其特征在于，主体(1)靠向连接件(23)的一侧外部沿其长度方向嵌有齿条(4)，安装架(3)的内侧安装有可伸缩移动的棘爪(5)，棘爪(5)的棘齿端进入齿条(4)内以阻隔安装架(3)下落。

8.根据权利要求1所述的晶圆盒搬运机械手的移动装置，其特征在于，主体(1)靠向连接件(23)的一侧两端外边角沿其长度方向对称嵌有辅轨(6)，安装架(3)上活动连接与辅轨(6)适配的辅助滑轮(7)，辅助滑轮(7)的外周壁与辅轨(6)相接触。

9.根据权利要求1所述的晶圆盒搬运机械手的移动装置，其特征在于，主体(1)与安装架(3)之间还安装有坦克链(8)，用于线缆走线。

10.根据权利要求1所述的晶圆盒搬运机械手的移动装置，其特征在于，主体(1)的外围连接有防护板(9)，以遮蔽带轮机构(2)。

技术总结本技术提供一种晶圆盒搬运机械手的移动装置。该移动装置包括主体、带轮机构和安装架。主体由多个型材首尾吻合拼接而成。带轮机构包括传动轮、皮带、连接件和驱动件；至少两个传动轮同轴设置且为一组，两组传动轮分别转动连接在主体的两端；皮带套设在两组传动轮的外表面且齿纹啮合；连接件连接皮带两端，与皮带共组成一个闭环；驱动件安装在主体的其中一端部，并与其中一组传动轮连接，以驱动传动轮转动。安装架与连接件可拆卸连接，用于安装搬运机械手。本技术通过拼接的主体以及带轮机构的配合实现搬运机械手跨楼层移栽晶圆盒的功能，和现有采用直线模组相比，更具有灵活性，解决高度不匹配安装困难的问题，也便于维保以及后期的更换拆卸。技术研发人员：赵书荣受保护的技术使用者：江苏睿新库智能科技有限公司技术研发日：20230411技术公布日：2024/6/13