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一种用于多晶硅锭的抛光机的制作方法

  • 国知局
  • 2024-06-20 15:42:31

本技术属于多晶硅锭加工,涉及一种用于多晶硅锭的抛光机。

背景技术:

1、多晶硅是生产单晶硅的直接原料,是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料,而多晶硅锭是由一种有色金属多晶硅材料,经过高温提炼成型后的产物。现有的硅锭抛光机在抛光时通常一次只抛光单面,后续需要对其他面进行多次抛光,抛光效率较低,因此,设计出一种用于多晶硅锭的抛光机是很有必要的。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了一种用于多晶硅锭的抛光机。

2、本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现:一种用于多晶硅锭的抛光机,包括机架,其特征在于,所述机架的中心位置设置有用于放置多晶硅锭的放置台,放置台的一端设置有挡板,所述放置台的上方设置有用于多晶硅锭顶面抛光的抛光机构一,抛光机构一滑动连接在机架顶部的导轨一上,所述放置台的另一端水平设置有推杆电机一,推杆电机一安装在机架上,推杆电机一的杆部安装有推板,所述放置台两侧设置有用于多晶硅锭侧面抛光的抛光机构二,抛光机构二滑动连接在机架两侧的导轨二上。

3、本实用新型的工作原理如下:将需要抛光的多晶硅锭放置在放置台上,通过推杆电机二控制推板推动多晶硅锭一侧与挡板相依靠后,实现多晶硅锭的固定,之后先启动抛光机构一对多晶硅锭的顶面进行抛光,之后启动抛光机构二对多晶硅锭的两侧进行抛光,抛光完成后仅需将多晶硅锭翻转位置,使原先的底面朝上,原先的两侧与前后位置对调,再进行一次抛光流程,就能完成对多晶硅锭六个面的抛光处理。

4、所述抛光机构一包括安装件一,所述安装件一通过驱动件滑动连接在导轨一上,安装件一上安装有推杆电机二,推杆电机二的杆部安装有安装件二,安装件二上水平安装有抛光辊一。

5、采用上述结构,通过驱动件控制安装件一水平移动,同时通过推杆电机二控制抛光辊一接触多晶硅锭顶面,对其进行抛光。

6、所述抛光机构二包括安装件三,所述安装件三通过驱动件滑动连接在导轨二上,安装件三上安装有推杆电机三,推杆电机三的杆部安装有安装件四,安装件四上竖直安装有抛光辊二。

7、采用上述结构,通过驱动件控制安装件三水平移动,同时通过推杆电机三控制抛光辊二接触多晶硅锭侧面,对其进行抛光。

8、所述挡板两侧连接有连接件,连接件通过滑动件滑动连接在放置台侧面的导向槽上。

9、采用上述结构,在抛光完成后,通过滑动件控制挡板移动将放置台上抛光产生的碎屑进行清理。

10、所述放置台与机架之间还设置有用于收集碎屑的收集槽,所述收集槽位于推板的下方。

11、所述挡板和推板表面均设置有橡胶垫。

12、采用上述结构,增加摩擦力方便固定,同时起到一定缓冲作用。

13、与现有技术相比,本用于多晶硅锭的抛光机具有该优点:本实用新型通过设置了多方位的抛光结构,总体仅需两次抛光处理,就能够对多晶硅锭的六个面进行抛光,抛光效率高。

技术特征:

1.一种用于多晶硅锭的抛光机,包括机架(1),其特征在于,所述机架(1)的中心位置设置有用于放置多晶硅锭的放置台(2),放置台(2)的一端设置有挡板(3),所述放置台(2)的上方设置有用于多晶硅锭顶面抛光的抛光机构一,抛光机构一滑动连接在机架(1)顶部的导轨一(4)上,所述放置台(2)的另一端水平设置有推杆电机一(5),推杆电机一(5)安装在机架(1)上,推杆电机一(5)的杆部安装有推板(6),所述放置台(2)两侧设置有用于多晶硅锭侧面抛光的抛光机构二,抛光机构二滑动连接在机架(1)两侧的导轨二(7)上。

2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅锭的抛光机,其特征在于,所述抛光机构一包括安装件一(8),所述安装件一(8)通过驱动件滑动连接在导轨一(4)上,安装件一(8)上安装有推杆电机二(9),推杆电机二(9)的杆部安装有安装件二(10),安装件二(10)上水平安装有抛光辊一(11)。

3.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅锭的抛光机,其特征在于,所述抛光机构二包括安装件三(12),所述安装件三(12)通过驱动件滑动连接在导轨二(7)上,安装件三(12)上安装有推杆电机三(13),推杆电机三(13)的杆部安装有安装件四(14),安装件四(14)上竖直安装有抛光辊二(15)。

4.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅锭的抛光机,其特征在于,所述挡板(3)两侧连接有连接件(16),连接件(16)通过滑动件滑动连接在放置台(2)侧面的导向槽(17)上。

5.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅锭的抛光机,其特征在于,所述放置台(2)与机架(1)之间还设置有用于收集碎屑的收集槽(18),所述收集槽(18)位于推板(6)的下方。

6.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅锭的抛光机,其特征在于,所述挡板(3)和推板(6)表面均设置有橡胶垫。

技术总结本技术提供了一种用于多晶硅锭的抛光机。它解决了现有的硅锭抛光机通常一次只抛光单面,后续需要对其他面进行多次抛光,抛光效率较低等技术问题。本用于多晶硅锭的抛光机,包括机架,机架的中心位置设置有用于放置多晶硅锭的放置台,放置台的一端设置有挡板,放置台的上方设置有用于多晶硅锭顶面抛光的抛光机构一,抛光机构一滑动连接在机架顶部的导轨一上,放置台的另一端水平设置有推杆电机一,推杆电机一安装在机架上,推杆电机一的杆部安装有推板,放置台两侧设置有用于多晶硅锭侧面抛光的抛光机构二,抛光机构二滑动连接在机架两侧的导轨二上。本技术总体仅需两次抛光处理,就能够对多晶硅锭的六个面进行抛光,抛光效率高。技术研发人员:苏鸣,盛建刚,叶青海,许建枫,宋星星受保护的技术使用者:浙江盛诚机械科技有限公司技术研发日:20231128技术公布日:2024/6/13

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