高精度曝光汞灯调焦系统及其工作方法与流程

本发明属于光学元件，具体涉及高精度曝光汞灯调焦系统及其工作方法。

背景技术：

1、近年来，在电路板、液晶基板、半导体等制造工序中，通过使用较大功率紫外光源，实现处理时间缩短，大面积曝光处理物均匀曝光等。但是，作为输入紫外光源中要求放出更高亮度；并且由于设备高精密性，必须保证光源输出方向，否则不仅导致能量损失，还造成光斑偏离腐蚀设备。

2、另一方面，线缆在与接线端子连接时需要对线缆剥皮、分线以及与接线端子缠绕，来实现可靠定位，但是目前，上述过程需要分步进行，实际操作中所需的过程较多。因此，设计一种高精度曝光汞灯调焦系统及其工作方法是必要的。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供高精度曝光汞灯调焦系统及其工作方法，以解决上述问题。

2、为了实现上述目的，本发明提供了高精度曝光汞灯调焦系统，包括：曝光灯本体、自动三维调节装置、接收光斑相机和计算机；

3、所述曝光灯本体的光线照射到所述接收光斑相机的接收端上；

4、所述曝光灯本体安装在所述自动三维调节装置的自由端；以及

5、所述自动三维调节装置和所述接收光斑相机与所述计算机电性连接；其中

6、所述计算机分析所述接收光斑相机中光斑偏离中心的位置，所述计算机控制所述自动三维调节装置移动所述曝光灯本体，以使光斑调到中心位置；

7、所述曝光灯本体包括灯壳、反光碗和灯芯，所述反光碗和灯芯设置在所述灯壳内，所述灯芯设置在所述反光碗的凹面一侧；

8、所述灯壳上开设有穿线孔，所述穿线孔内转动设置有接线机构，所述灯壳内部具有接线端子，所述接线端子与所述穿线孔相对应；

9、所述接线机构包括两切线组件和分线组件，两所述切线组件滑动设置在所述接线机构上，且两所述切线组件朝向所述接线机构内侧的一端具有尖头；

10、所述分线组件的中心具有分隔柱；其中

11、线缆穿过所述接线机构时，两所述切线组件分别向内侧收缩，以使两所述切线组件切割线缆的绝缘皮；

12、线缆穿过所述分线组件时，线缆沿所述分隔柱分为两股，两股线缆穿过所述分隔柱后，连接到接线端子上。

13、进一步地，所述自动三维调节装置包括至少两个直线移动副，两直线移动副相互垂直。

14、进一步地，所述调焦系统还包括照度探头接收靶，所述照度探头接收靶与所述计算机电性连接；

15、所述曝光灯本体的光线照射到所述照度探头接收靶上；其中

16、所述曝光灯本体照射到所述照度探头接收靶时，所述计算机测得所述曝光灯本体的波段照度。

17、进一步地，所述调焦系统还包括反射镜和分光镜。

18、进一步地，所述接线机构包括穿线筒，所述穿线筒上开设有两径向槽，两所述切线组件分别滑动设置在对应所述径向槽内；

19、所述切线组件包括限位座和切割块，所述限位座滑动设置在所述径向槽内侧，所述切割块滑动设置在所述限位座内侧；以及

20、所述切割块朝向所述穿线筒内侧的一端为尖头。

21、进一步地，所述分线组件包括分隔环，所述分隔环与所述穿线筒同轴设置，所述分隔环的外侧设置有若干阻挡块，所述阻挡块沿所述分隔环周向均匀设置，且所述阻挡块远离所述分隔环的一侧与所述穿线筒连接；

22、所述分隔柱的两端分别与所述分隔环的内壁连接；

23、所述分隔柱与两所述切割块的连线平行设置；

24、所述分隔柱朝外的一侧为尖头。

25、进一步地，所述灯壳的外壁还设置有两第一限位块和两第二限位块，两所述第一限位块和两所述第二限位块分别沿所述穿线筒的轴心中心对称分布，且所述第一限位块与所述第二限位块间隔设置；

26、所述第一限位块上开设有第一弧面，所述切割块朝向对应所述第一弧面的一侧开设有配合弧面；

27、所述第二限位块上开设有第二弧面，所述限位座朝向对应所述第二弧面的一侧开设有限位弧面；以及

28、所述第二限位块上开设有伸缩槽，所述伸缩槽与所述切割块相对应。

29、进一步地，所述穿线筒的外壁开设有间隔设置的第一环槽和第二环槽，所述第一环槽与所述第二环槽之间开设有连接槽，所述连接槽的两端分别与所述第一环槽和所述第二环槽连通；

30、所述穿线孔内壁设置有凸块，所述凸块滑动设置在所述第一环槽或所述第二环槽或所述连接槽内。

31、此外，本发明还提供了一种使用如上文所示的高精度曝光汞灯调焦系统的工作方法，s1、将自动三维调节装置和接收光斑相机分别与计算机连接；

32、s2、将曝光灯本体照射接收光斑相机，得到光斑，若光斑偏移，则进入s3；

33、s3、所述计算机分析所述接收光斑相机中光斑偏离中心的位置，所述计算机控制所述自动三维调节装置移动所述曝光灯本体，以使光斑调到中心位置。

34、相对于现有技术，本发明具有以下有益效果：通过设置接收光斑相机，并与计算机电性连接，使得曝光灯本体照射到接收光斑相机形成的光斑出现偏离时，可通过计算机计算出便宜的位置，并控制自动三维调节装置将曝光灯本体调节到位。通过切线组件和分线组件依次对线缆进行剥皮以及分线，免去了多个需要单独进行的步骤，极大简化了接线过程。

技术特征：

1.一种高精度曝光汞灯调焦系统，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的调焦系统，其特征在于，

3.如权利要求1所述的调焦系统，其特征在于，

4.如权利要求1所述的调焦系统，其特征在于，

5.如权利要求1所述的调焦系统，其特征在于，

6.如权利要求5所述的调焦系统，其特征在于，

7.如权利要求6所述的调焦系统，其特征在于，

8.如权利要求7所述的调焦系统，其特征在于，

9.一种使用如权利要求1-8任一项所述的高精度曝光汞灯调焦系统的工作方法，其特征在于，包括如下步骤：

技术总结本发明属于光学元件技术领域，具体涉及高精度曝光汞灯调焦系统及其工作方法。本发明提供了高精度曝光汞灯调焦系统，包括：曝光灯本体、自动三维调节装置、接收光斑相机和计算机；曝光灯本体的照明端朝向接收光斑相机；曝光灯本体安装在自动三维调节装置的自由端；以及自动三维调节装置和接收光斑相机与计算机电性连接。计算机分析接收光斑相机中光斑偏离中心的位置，计算机控制自动三维调节装置移动曝光灯本体，以使光斑调到中心位置。通过设置接收光斑相机，并与计算机电性连接，使得曝光灯本体照射到接收光斑相机形成的光斑出现偏离时，可通过计算机计算出便宜的位置，并控制自动三维调节装置将曝光灯本体调节到位。技术研发人员：宋海峰,李治显受保护的技术使用者：苏州汇影光学技术有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/13