光学邻近校正方法及装置、存储介质、计算设备与流程

本技术涉及半导体，尤其涉及一种光学邻近校正方法及装置、存储介质、计算设备。

背景技术：

1、在半导体领域，产品的运行时间(runtime)是软件中很重要的一个指标.能够快速即低运行时间(low runtime)而且稳定的产出是受到客户信赖至关重要的因素之一。而在光学邻近修正(optical proximity correction,opc)过程中，找出更有效率的opc算法降低运行时间是各公司持续努力精进的方向。

2、现有技术中普遍采用的加速手段都是通过升级硬件条件，例如提升处理器(central processing unit,cpu)等级，或者提升cpu数量。

3、但是，现有技术中升级硬件条件来提升opc效率的方式，导致opc过程的成本较高。

技术实现思路

1、本技术能够在兼顾硬件成本的基础上提升光学邻近校正的效率。

2、为了达到上述目的，本技术提供了以下技术方案：

3、第一方面，提供了一种光学邻近校正方法，光学邻近校正方法包括：获取待校正图像，所述待校正图像为晶圆设计图形；将所述待校正图像划分为多个单元块，每一个单元块包括多个基本块；对于每一个单元块，执行以下步骤：对每一个基本块分别进行光学邻近校正，以得到每一个基本块的校正结果；根据第一基本块以及第二基本块的校正结果，获得所述第一基本块所对应边界区域的校正结果，所述第二基本块为所述第一基本块的相邻基本块，所述第一基本块和所述第二基本块为所述单元块中的基本块。

4、可选的，所述对每一个基本块分别进行光学邻近校正包括：为每一个基本块设置保护区域，并在每一个基本块与其保护区域所形成的区域内进行光学邻近校正。

5、可选的，所述为每一个基本块设置保护区域，包括：获取该基本块的相邻基本块，在所获取的每一个相邻基本块上设置子保护区域，并以所述子保护区域形成该基本块的保护区域。

6、可选的，所述根据第一基本块以及第二基本块的校正结果，获得所述第一基本块所对应边界区域的校正结果，包括：根据所述第一基本块的校正结果及其对应的权重系数以及所述第二基本块的校正结果及其对应的权重系数，计算所述第一基本块所对应的边界区域的校正结果。

7、可选的，所述计算所述第一基本块所对应的边界区域的校正结果，包括：对于所述第一基本块所对应的边界区域内的每一个像素点，根据所述像素点与所述第一基本块的距离确定所述第一基本块对应的权重系数，以及根据所述像素点与所述第二基本块的距离确定所述第二基本块对应的权重系数；将所述第二基本块在所述第一基本块所对应的边界区域内的校正结果与所述第二基本块对应的权重系数，以及所述第一基本块在所述第一基本块所对应的边界区域内的校正结果与所述第一基本块对应的权重系数进行加权计算，以得到所述第一基本块所对应的边界区域的校正结果。

8、可选的，所述确定所述第一基本块对应的权重系数以及所述第二基本块对应的权重系数，包括：根据第一曲线以及第一距离确定所述第一基本块对应的第一权重，所述第一距离为所述像素点与所述第一基本块的边界的距离，所述第一曲线表示所述第一距离与第一权重的映射关系；根据第二曲线以及第二距离确定所述第二基本块对应的第二权重，所述第二距离为所述像素点与所述第一基本块所对应边界区域靠近所述第二基本块的边界的距离，所述第二曲线表示所述第二距离与第二权重的映射关系。

9、可选的，待校正的单元块存储在内存中；所述对每一个基本块分别进行光学邻近校正包括：将所述待校正的单元块中各个基本块按顺序依次发送给光学邻近校正模型，以供所述光学邻近校正模型按顺序依次对对每一个基本块进行光学邻近校正，并输出每一个基本块的校正结果。

10、可选的，所述光学邻近校正方法还包括：对于每一个单元块所对应边界区域，根据该单元块的校正结果以及该单元块的相邻单元块的校正结果对该单元块所对应边界区域进行平缓化处理，单元块的校正结果包各个基本块的校正结果以及各个基本块所对应边界区域的校正结果。

11、可选的，所述将所述待校正图像划分为多个单元块包括：将所述待校正图像划分为多个第一块；对所述多个第一块进行放大，以得到所述多个单元块。

12、可选的，所述第一基本块所对应边界区域为所述第一基本块和所述第二基本快的相邻区域。第二方面，本技术还提供一种光学邻近校正装置，光学邻近校正装置包括：获取模块，用于获取待校正图像，所述待校正图像为晶圆设计图形；划分模块，用于将所述待校正图像划分为多个单元块，每一个单元块包括多个基本块；校正模块，用于对于每一个单元块，执行以下步骤：对每一个基本块分别进行光学邻近校正，以得到每一个基本块的校正结果；根据第一基本块以及第二基本块的校正结果，获得所述第一基本块所对应边界区域的校正结果，所述第二基本块为所述第一基本块的相邻基本块。

13、第三方面，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器运行以执行第一方面提供的任意一种方法。

14、第四方面，提供了一种计算设备，包括存储器和处理器，存储器上存储有可在处理器上运行的计算机程序，处理器运行计算机程序以执行第一方面提供的任意一种方法。

15、第五方面，本技术实施例还提供一种芯片(或者说数据传输装置)，该芯片上存储有计算机程序，在计算机程序被芯片执行时，实现上述方法的步骤。

16、第六方面，本技术实施例还提供一种系统芯片，应用于终端中，所述芯片系统包括至少一个处理器和接口电路，所述接口电路和所述至少一个处理器通过线路互联，所述至少一个处理器用于执行指令，以执行第一方面提供的任意一种方法。

17、与现有技术相比，本技术技术方案将待校正图像划分为多个单元块，每一个单元块包括多个基本块；对于每一个单元块，执行以下步骤：对每一个基本块分别进行光学邻近校正，以得到每一个基本块的校正结果；根据第一基本块以及第二基本块的校正结果，获得第一基本块所对应边界区域的校正结果，第二基本块为第一基本块的相邻基本块，第一基本块和第二基本块为单元块中的基本块。相对于现有技术中对每两个相邻基本块的边界均进行平缓化处理，本技术的光学邻近校正过程中需要做平缓化处理的边界的数量减少，做平缓化处理的次数减少，光学邻近校正过程的运行时间就减少，实现了在无需升级硬件的基础上提升光学邻近校正的效率的目的。

18、进一步地，本技术技术方案中，根据第一曲线以及第一距离确定第一基本块对应的第一权重，第一距离为像素点与第一基本块的边界的距离，第一曲线表示第一距离与第一权重的映射关系；根据第二曲线以及第二距离确定第二基本块对应的第二权重，第二距离为像素点与第一基本块所对应边界区域靠近第二基本块的边界的距离，第二曲线表示第二距离与第二权重的映射关系。本技术技术方案通过像素点与第一基本块的边界的距离确定第一权重以及通过像素点与第一基本块所对应边界区域靠近第二基本块的边界的距离确定第二权重，能够保证第一权重和第二权重的准确性，从而保证第一基本块所对应区域的校正结果的准确性，提升光学邻近校正的效果。