一种适用于Mirau物镜参考反射镜焦距微调装置的制作方法

本申请涉及光学器件设计领域，具体而言，涉及一种适用于mirau物镜参考反射镜焦距微调装置。

背景技术：

1、传统的mirau物镜是在物镜距离被测面的中间位置放上一个半反射镜，然后在物镜的出瞳处放上一个反射镜，光线经干涉物镜以汇聚照明的方式入射到被测物体的表面上。由于分光比例固定，因此测量光和参考光的光强比例无法调整，对于不同反射表面，往往无法达到最佳光强对比度要求，从而影响测量精度。

技术实现思路

1、本申请的内容部分用于以简要的形式介绍构思，这些构思将在后面的具体实施方式部分被详细描述。本申请的内容部分并不旨在标识要求保护的技术方案的关键特征或必要特征，也不旨在用于限制所要求的保护的技术方案的范围。

2、为了解决以上背景技术部分提到的技术问题，本申请的一些实施例提供了一种适用于mirau物镜参考反射镜焦距微调装置，包括：第一感光件，所述第一感光件包括光源，所述光源向下发出光；所述第一感光件的下方设置干涉物镜，光穿过所述干涉物镜；所述干涉物镜下方设置偏振分光器，所述偏振分光器相对于水平面倾斜，所述偏振分光器使光分成s光和p光，所述p光穿过所述偏振分光器照射在被测物的表面上，所述偏振分光器的右侧设置第一检偏器和反射镜，所述第一检偏器和所述反射镜垂直于水平面，所述反射镜朝向所述第一检偏器的表面形成参考平面，所述s光经过所述第一检偏器照射在所述反射镜的参考平面上。

3、进一步地，所述第一感光件与所述干涉物镜之间设置第二感光件和第二检偏器，所述第一感光件的下表面形成第一感光面，所述第二感光件形成第二感光面，所述第一感光面与所述第二感光面成90°夹角；所述第二检偏器位于所述第一感光面和所述第二感光面之间。

4、进一步地，所述干涉物镜上设置干涉物镜外套，所述干涉物镜安装于所述干涉物镜外套中；所述偏振分光器上设置旋转结构，所述旋转结构使所述偏振分光器、所述第一检偏器和所述反射镜绕所述旋转结构的中心轴旋转，所述旋转结构的中心轴与所述干涉物镜的中心轴平行并偏离。

5、进一步地，所述旋转结构的中心轴与所述干涉物镜的中心轴的偏差量大于白光相干长度。

6、进一步地，所述干涉物镜包括多个并排的镜片。

7、进一步地，所述第一感光面与所述第二感光面相对于所述第二检偏器呈镜像布置。

8、进一步地，所述旋转结构可在水平面上进行360°旋转。

9、进一步地，所述第一感光件的感光元件和所述第二感光件的感光元件是ccd、cmos、exmor r cmos等之中的一种。

10、本申请的有益效果在于：

11、第一感光件、干涉物镜和偏振分光器从上至下依次排列，偏振分光器右侧设置第一检偏器和反射镜，光从第一感光件发出经过干涉物镜到达偏振分光器，偏振分光器将光分成s光和p光，p光穿过偏振分光器照射到被测物的表面后沿原路返回第一感光件，s光穿过第一检偏器照射到反射镜后沿原路返回第一感光件，检偏器能调节透过自身的s光的能量，从而实现s光相对p光的最佳对比度，提高测量精度。

技术特征：

1.一种适用于mirau物镜参考反射镜焦距微调装置，其特征在于，包括：第一感光件，所述第一感光件包括光源，所述光源向下发出光；所述第一感光件的下方设置干涉物镜，光穿过所述干涉物镜；所述干涉物镜下方设置偏振分光器，所述偏振分光器相对于水平面倾斜，所述偏振分光器使光分成s光和p光，所述p光穿过所述偏振分光器照射在被测物的表面上，所述偏振分光器的右侧设置第一检偏器和反射镜，所述第一检偏器和所述反射镜垂直于水平面，所述反射镜朝向所述第一检偏器的表面形成参考平面，所述s光经过所述第一检偏器照射在所述反射镜的参考平面上。

2.根据权利要求1所述的适用于mirau物镜参考反射镜焦距微调装置，其特征在于：

3.根据权利要求1所述的适用于mirau物镜参考反射镜焦距微调装置，其特征在于：

4.根据权利要求3所述的适用于mirau物镜参考反射镜焦距微调装置，其特征在于：

5.根据权利要求1-3所述的适用于mirau物镜参考反射镜焦距微调装置，其特征在于：

6.根据权利要求2所述的适用于mirau物镜参考反射镜焦距微调装置，其特征在于：

7.根据权利要求3所述的适用于mirau物镜参考反射镜焦距微调装置，其特征在于：

8.根据权利要求1-3所述的适用于mirau物镜参考反射镜焦距微调装置，其特征在于：

技术总结本申请公开了一种适用于Mirau物镜参考反射镜焦距微调装置，其属于光学器件设计领域。包括：第一感光件包括光源；所述第一感光件的下方设置干涉物镜；偏振分光器相对于水平面倾斜，所述偏振分光器使光分成s光和p光，所述p光穿过所述偏振分光器照射在被测物的表面上，所述偏振分光器的右侧设置第一检偏器和反射镜，所述第一检偏器和所述反射镜垂直于水平面，所述反射镜朝向所述第一检偏器的表面形成参考平面，所述s光经过所述第一检偏器照射在所述反射镜的参考平面上。本申请的有益效果在于：提供了一种检偏器能调节透过自身的s光的能量，从而实现s光相对p光的最佳对比度，提高测量精度的适用于Mirau物镜参考反射镜焦距微调装置。技术研发人员：陆惠宗,吴宇剑受保护的技术使用者：海宁科海光电科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/5/12