一种光刻胶显影点测试设备的制作方法

本技术涉及半导体制造，具体为一种光刻胶显影点测试设备。

背景技术：

1、在半导体制造中，光刻技术被广泛应用于芯片制造过程中定义和传输图案。其基本原理是通过使用光刻胶作为光学掩模，在芯片表面覆盖并形成所需的图案。该图案经过曝光和显影等处理步骤后，将被转移到芯片上。光刻胶显影点测试的目的是检查光刻胶曝光的结果是否符合设计规格。

2、如公告号为“cn217932409u”的中国实用新型专利公开了“一种光刻胶显影点测试设备，包括收集盒，收集盒外表面的顶端可拆卸安装有安装架……上述方案中，测试装置通过设置收集盒和过滤网，当对光刻胶显影点测试完成后，此时多余的显影液会顺着过滤网流入到收集盒内壁的底端，当经过过滤网时，过滤网会将显影液中含有的杂质进行过滤，以保证回收显影液的质量，因为底片是放置在过滤网上表面中部的，所以喷洒出来的显影液会集中收集在收集盒内壁的底端，从而便于对显影液进行二次利用，减少损失”。

3、针对上述中的相关技术，在进行光刻胶显影点测试时，直接将待测试底片放置在滤网的上表面的中部，缺少对待测试底片的限位措施，使得待测试底片受到显影液的喷洒冲击时，有可能会产生移位，则大大影响了对待测试底片的测试效果。因此，本领域技术人员提供了一种光刻胶显影点测试设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

技术实现思路

1、为了解决在对待测试底片进行测试时，缺少对待测试底片的限位措施，使得待测试底片受到显影液的喷洒冲击时，有可能会产生移位的问题，本实用新型提供一种光刻胶显影点测试设备。

2、本实用新型提供的一种光刻胶显影点测试设备采用如下的技术方案：一种光刻胶显影点测试设备，包括收集框，所述收集框的内部底端固定连接有定位座，所述定位座上设置有定位机构，所述定位座的外侧固定连接有连接框，所述收集框的内部设置有滤板，所述滤板位于连接框的上端，且所述滤板与定位座平齐，所述收集框的上部固定连接有安装架，所述安装架的内部左侧固定安装有电推杆，所述电推杆的右端固定连接有安装板，所述安装板上设置有测试机构。

3、优选的，所述定位机构包括环形管、多个吸气管、连通管和气泵，所述环形管固定连接在定位座的内部，多个所述吸气管均固定连通在环形管的上端，所述连通管固定连通在环形管的外侧，所述气泵固定安装在收集框的后侧，所述连通管远离环形管的一端贯穿出收集框内部且与气泵的一端连接。

4、优选的，所述测试机构包括储液箱、抽料泵、抽液管、出液管、导液管和多个喷头，所述储液箱和抽料泵均固定连接在安装板的上端，所述抽液管和出液管分别固定连接在抽料泵的前后两侧，所述抽液管的一端与储液箱连通，所述导液管固定连接在安装板的底端，且所述出液管的一端与导液管连通，多个所述喷头均固定连通在导液管的底端。

5、优选的，所述定位座的上部开设有多个通孔，且所述通孔与吸气管的位置对应。

6、优选的，所述收集框的内部左右两侧均开设有插槽，所述插槽内插接有插块，所述插块的一端与滤板连接，且所述插块的上部固定连接有拉杆。

7、优选的，所述安装架的内侧固定连接有多个导向杆，且所述安装板与导向杆滑动连接。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

9、本实用新型设置了定位座、连接框、定位机构和通孔，在对待测试底片进行测试时，直接将待测试底片放置在定位座上，此时通过定位机构和通孔的配合使用可以将待测试底片紧紧吸附在定位座上，从而对待测试底片进行测试时待测试底片不易移位，进而保证了对待测试底片的测试效果，同时设置了插块和拉杆，使得需要对滤板进行清理时，直接握住拉杆并向上提拉即可取出滤板，使得对滤板拆卸更为的方便，则对滤板方便清理。

技术特征：

1.一种光刻胶显影点测试设备，包括收集框(1)，其特征在于：所述收集框(1)的内部底端固定连接有定位座(2)，所述定位座(2)上设置有定位机构(3)，所述定位座(2)的外侧固定连接有连接框(4)，所述收集框(1)的内部设置有滤板(5)，所述滤板(5)位于连接框(4)的上端，且所述滤板(5)与定位座(2)平齐，所述收集框(1)的上部固定连接有安装架(6)，所述安装架(6)的内部左侧固定安装有电推杆(7)，所述电推杆(7)的右端固定连接有安装板(8)，所述安装板(8)上设置有测试机构(9)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶显影点测试设备，其特征在于：所述定位机构(3)包括环形管(301)、多个吸气管(302)、连通管(303)和气泵(304)，所述环形管(301)固定连接在定位座(2)的内部，多个所述吸气管(302)均固定连通在环形管(301)的上端，所述连通管(303)固定连通在环形管(301)的外侧，所述气泵(304)固定安装在收集框(1)的后侧，所述连通管(303)远离环形管(301)的一端贯穿出收集框(1)内部且与气泵(304)的一端连接。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶显影点测试设备，其特征在于：所述测试机构(9)包括储液箱(901)、抽料泵(902)、抽液管(903)、出液管(904)、导液管(905)和多个喷头(906)，所述储液箱(901)和抽料泵(902)均固定连接在安装板(8)的上端，所述抽液管(903)和出液管(904)分别固定连接在抽料泵(902)的前后两侧，所述抽液管(903)的一端与储液箱(901)连通，所述导液管(905)固定连接在安装板(8)的底端，且所述出液管(904)的一端与导液管(905)连通，多个所述喷头(906)均固定连通在导液管(905)的底端。

4.根据权利要求2所述的一种光刻胶显影点测试设备，其特征在于：所述定位座(2)的上部开设有多个通孔(10)，且所述通孔(10)与吸气管(302)的位置对应。

5.根据权利要求1所述的一种光刻胶显影点测试设备，其特征在于：所述收集框(1)的内部左右两侧均开设有插槽(11)，所述插槽(11)内插接有插块(12)，所述插块(12)的一端与滤板(5)连接，且所述插块(12)的上部固定连接有拉杆(13)。

6.根据权利要求1所述的一种光刻胶显影点测试设备，其特征在于：所述安装架(6)的内侧固定连接有多个导向杆(14)，且所述安装板(8)与导向杆(14)滑动连接。

技术总结本技术涉及半导体制造技术领域，且公开了一种光刻胶显影点测试设备，包括收集框，所述收集框的内部底端固定连接有定位座，所述定位座上设置有定位机构，所述定位座的外侧固定连接有连接框，所述收集框的内部设置有滤板，所述滤板位于连接框的上端，且所述滤板与定位座平齐，所述收集框的上部固定连接有安装架，所述安装架的内部左侧固定安装有电推杆，所述电推杆的右端固定连接有安装板，所述安装板上设置有测试机构，所述定位机构包括环形管、多个吸气管、连通管和气泵；本技术在使用时，在对待测试底片进行测试可以对待测试底片进行限位固定，使得待测试底片不易移位，大大保证了对待测试底片的测试效果。技术研发人员：宋慧洁,赖桢岚,张同锦受保护的技术使用者：合肥汉旸科技材料有限公司技术研发日：20231012技术公布日：2024/5/16