一种多镜头组物像面齐焦的方法与装置与流程

本发明主要涉及物像面齐焦，具体涉及一种多镜头组物像面齐焦的方法与装置。

背景技术：

1、在扫描式大幅面图形光刻制版领域，为了提高制版产能，一般有两种做法：一是使用单一光刻镜头，视场匹配所要制作的图形视野；二是采用多镜头组拼接的方式匹配制作图形的视野。前者因工作幅面大，而镜头又要求是物像远心，会造成镜头口径和尺寸变得庞大，不利于加工装配，成本也会急剧上升。后者可以用多个小视野的镜头并排或者错位拼接来匹配工作视野，难度在于：对于一个整体的物面（掩膜面），怎样来调整每个镜头在同一个焦面下具有相同的放大倍率（精确至小数点后第4位），这样才能使光刻出来图形大小一致，本发明提出一种多镜头组物像面齐焦的方法与装置。

技术实现思路

1、1.发明要解决的技术问题：

2、本发明的提供了一种多镜头组物像面齐焦的方法与装置，用以解决上述背景技术中存在的技术问题。

3、2.技术方案：

4、为达到上述目的，本发明提供的技术方案为：一种多镜头组物像面齐焦的装置，包括多镜头组，所述多镜头组包括若干个并排设置的成像镜头，每个所述成像镜头安装在独立的镜头安装固定板上，所述镜头安装固定板安装在上下调节模组的输出端，所述上下调节模组用于调节所述成像镜头的高度，所述成像镜头的最后一片镜片为倍率调节镜片，所述倍率调节镜片往上调节，倍率变小，往下调节，倍率变大，所述多镜头组的下方设置有工作台，其上方设置有掩膜台，所述工作台和所述掩膜台均可上下移动，所述多镜头组物面为一整体的掩膜面，所述掩膜面固定在掩膜台上且随所述掩膜台运动，所述工作台的上表面为工作面。

5、优选的，所述工作台上设置有标定相机。

6、优选的，所述上下调节模组包括安装架，所述安装架上转动安装有螺杆，所述螺杆与电机的输出轴相连接，所述螺杆上通过螺纹安装有移动块，所述移动块上设置有安装板，所述镜头安装固定板固定在所述安装板上。

7、优选的，所述安装板为“u”型，所述安装架上设置有两个平行的导轨，所述安装板上开设有两个滑槽，所述滑槽滑动套设在所述导轨上。

8、一种多镜头组物像面齐焦的方法，包括以下步骤：

9、s1：分别测量n个成像镜头的倍率和最佳焦面值，记录数据；

10、s2：调节成像镜头的倍率调节镜片的上下位置，先将n个镜头倍率调至理论值；

11、s3：以其中某一个成像镜头的倍率及焦面值为基准，调至其他n-个成像镜头的倍率及焦面；

12、s4：与基准对比，若工作面位置偏高，成像镜头需上移，此时成像镜头倍率会变小，工作面位置上移值为成像镜头下降值*倍率^2，通过往下调节倍率调节镜片，将倍率调至理论值；

13、s5：与基准对比，若工作面位置偏低，成像镜头需下移，此时成像镜头倍率会变大，工作面位置下降值为成像镜头上移值*倍率^2，通过往上调节倍率调节镜片，将倍率调至理论值。

14、优选的，还包括以下步骤：

15、s6：重复步骤s4-s5，直到所有镜头的倍率和焦面值都调至理论值；

16、s7：对所有镜头进行最终校准，确保倍率和焦面值的准确性；

17、s8：测试每个镜头的成像效果，进行调整和修正，以达到最佳成像质量；

18、s9：记录每个镜头的校准和调整结果，以备后续参考和维护使用。

19、3.有益效果：

20、采用本发明提供的技术方案，与现有技术相比，具有如下有益效果：

21、本发明通过上下调节模组调节成像镜头的位置，同步调节工作台的位置，工作面位置下降值为成像镜头上移值*倍率^2（或工作面位置上移值为成像镜头下降值*倍率^2），调整每个镜头在同一个焦面下具有相同的放大倍率，使得多镜头组物像面齐焦，能使光刻出来图形大小一致。本发明可以提高制版的效率，减少制版时间，通过同时使用多个镜头进行扫描，可以大幅度缩短制版的时间，提高制版的效率。其次，多镜头组拼接可以提高图像的分辨率和质量。由于多镜头的拼接，可以获得更高分辨率的图像，提高制版的精确度和准确性，并减少了成本。本发明可以提高图形的覆盖范围和分辨率，并解决大幅面制版中的视野限制问题，本发明的方法将多个成像镜头的图像进行拼接，实现连续的视野覆盖，从而可以扫描更大的制版区域。

技术特征：

1.一种多镜头组物像面齐焦的装置，其特征在于：包括多镜头组，所述多镜头组包括若干个并排设置的成像镜头（1），每个所述成像镜头（1）安装在独立的镜头安装固定板（2）上，所述镜头安装固定板（2）安装在上下调节模组（3）的输出端，所述上下调节模组（3）用于调节所述成像镜头（1）的高度，所述成像镜头（1）的最后一片镜片为倍率调节镜片（11），所述倍率调节镜片（11）往上调节，倍率变小，往下调节，倍率变大，所述多镜头组的下方设置有可上下移动的工作台（4），其上方设置有可平移的掩膜台（5），所述工作台（4）的位置以一个成像镜头（1）的焦面值来确定，所述多镜头组物面为一整体的掩膜面（7），所述掩膜面（7）固定在掩膜台（5）上且随所述掩膜台（5）运动，所述工作台（4）的上表面为工作面（8）。

2.根据权利要求1所述的一种多镜头组物像面齐焦的装置，其特征在于：所述工作台（4）上设置有标定相机（6）。

3.根据权利要求2所述的一种多镜头组物像面齐焦的装置，其特征在于：所述上下调节模组（3）包括安装架（31），所述安装架（31）上转动安装有螺杆（33），所述螺杆（33）与电机（32）的输出轴相连接，所述螺杆（33）上通过螺纹安装有移动块（34），所述移动块（34）上设置有安装板（35），所述镜头安装固定板（2）固定在所述安装板（35）上。

4.根据权利要求3所述的一种多镜头组物像面齐焦的装置，其特征在于：所述安装板（35）为“u”型，所述安装架（31）上设置有两个平行的导轨（36），所述安装板（35）上开设有两个滑槽（37），所述滑槽（37）滑动套设在所述导轨（36）上。

5.一种多镜头组物像面齐焦的方法，其特征在于，包括以下步骤：

6.根据权利要求5所述的一种多镜头组物像面齐焦的方法与装置，其特征在于，还包括以下步骤：

技术总结本发明提供一种多镜头组物像面齐焦的方法与装置，包括多镜头组，多镜头组包括若干个并排设置的成像镜头，每个成像镜头安装在独立的镜头安装固定板上，镜头安装固定板安装在上下调节模组的输出端，多镜头组的下方设置有可上下移动的工作台，其上方设置有可平移的掩膜台，工作台的位置以一个成像镜头的焦面值来确定。本发明通过上下调节模组调节成像镜头的位置，同步调节工作台的位置，工作面位置下降值为成像镜头上移值*倍率^2，调整每个镜头在同一个焦面下具有相同的放大倍率，使得多镜头组物像面齐焦，能使光刻出来图形大小一致，本发明可以提高图形的覆盖范围和分辨率，并解决大幅面制版中的视野限制问题，减少了成本。技术研发人员：洪小苗,李阳受保护的技术使用者：苏州艾线光电科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/5/27