一种多镜头组物像面齐焦的方法与装置与流程

本发明主要涉及物像面齐焦，具体涉及一种多镜头组物像面齐焦的方法与装置。背景技术：1、在扫描式大幅面图形光刻制版领域，为了提高制版产能，一般有两种做法：一是使用单一光刻镜头，视场匹配所要制作的图形视野；......

2024-06-21 16

#物像#装置#镜头