一种多镜片可调节的大靶面管镜装置的制作方法

本技术属于微显示器检测或者晶圆半导体外观缺陷检测的领域，更具体地，涉及一种多镜片可调节的大靶面管镜装置。

背景技术：

1、目前，微显示器或者晶圆半导体已经广泛的应用到人们生活的各种场景中，成为人们生活中必不可少的一部分。现在市场上显示器的类型越来越繁多，基于micro led技术生产的显示器也慢慢的进入了人们的视野中。micro led对于检测要求非常高，且常规的镜头无法达到micro led的检测需求。

2、当下，市场上关于microled微显示器检测的管镜装置的视野普遍较小，且比较单一，现有的管镜内反射镜和折射镜视野都较小，不适合于microled微显示器检测。

3、因此，需要开发一种能扩展检测视野的检测装置。

技术实现思路

1、针对现有技术的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，旨在解决现有的常规检测镜头无法扩展或者改变视野，不能达到micro led的检测需求的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其包括相邻连接的主镜筒部分、副镜筒部分和光源镜筒部分，主相机设置在主镜筒部分上，副相机设置在副镜筒部分上，光源设置在光源镜筒部分上，其中，在主镜筒部分底部设置有分束镜座，在副镜筒部分设置有一反射镜座，在光源镜筒部分设置有又一反射镜座，反射镜座和分束镜座均能活动，以能带动设置在其上的光学镜片发生前后俯仰调节和左右俯仰调节。

3、进一步的，反射镜座结构和分束镜座结构类似，均包括底板和设置在底板上的转接体，转接体与底板连接形成为一体，转接体上设置有透射孔，光学镜头贴合设置在透射孔上，光学镜片为反射镜和分束镜，多个底板均可活动连接在主镜筒部分、副镜筒部分和光源镜筒部分。

4、进一步的，转接体为柱状结构，其底面为台阶面，台阶面的一个面贴合固体于底板上，台阶面的另一个面与底板相隔间距而形成缝隙，通过调节缝隙大小而能调节转接体上光学镜片的角度。

5、进一步的，转接体为三角体支座，其呈三角柱状结构，三角体支座底面为台阶面，三角体支座竖直固定于底板上。

6、进一步的，底板上相邻设置有两个螺纹孔，两个螺纹孔均位于在所述缝隙处，其中一个螺纹孔轴向方向上的台阶面处同样设置螺纹孔，以能使螺接件通过底板的螺纹孔螺接三角体支座。

7、进一步的，底板的相对两个侧边边缘处设置了两两相对的弧形槽孔，弧形槽孔长度较大，以能使得螺接件沿弧形槽孔调节位置。

8、进一步的，弧形槽孔呈弧形状，一共设置有四个弧形槽孔，同一侧以及同一边的弧形槽孔相互形成类八字状。

9、进一步的，主镜筒部分、副镜筒部分和光源镜筒部分分别设置有管镜主体座、副镜筒固定座和光源镜筒固定座，管镜主体座、副镜筒固定座和光源镜筒固定座均呈空腔状，反射镜座设置在副镜筒固定座空腔内和光源镜筒固定座空腔内，分束镜座设置在管镜主体座内，反射镜座和分束镜座各自的底板通过弧形槽孔和螺接件活动连接在管镜主体座、副镜筒固定座和光源镜筒固定座各自的侧壁处。

10、进一步的，底板的一侧呈圆弧状，另一侧的两个角部具有倒角。

11、进一步的，管镜主体座、副镜筒固定座和光源镜筒固定座各自的侧壁处设置有和底板形状类似的安装槽，并且安装槽在安装各自的底板后具有较大冗余空间，以能容纳底板的转动。

12、总体而言，通过本实用新型所构思的以上技术方案与现有技术相比，具有以下有益效果：

13、本实用新型的目的在于提供一种用于微显示器检测的多镜片可调节的大靶面管镜装置，使得在micro led检测场景下能够满足大视野检测的需求。具体的，本实用新型将管镜结构内部的反射镜和分束镜增加前后俯仰和左右俯仰调节结构，避免了管镜内部某一片反射镜或者分束镜的角度有偏差对整个光路系统造成影响，调节结构均在管镜外部调节，可以边调试取像边调节反射镜或者分束镜的前后俯仰和左右俯仰的角度，以满足在微显示器检测或晶圆半导体检测领域的使用需求。

技术特征：

1.一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，其包括相邻连接的主镜筒部分、副镜筒部分和光源镜筒部分，主相机设置在主镜筒部分上，副相机设置在副镜筒部分上，光源设置在光源镜筒部分上，其中，在主镜筒部分底部设置有分束镜座，在副镜筒部分设置有一反射镜座，在光源镜筒部分设置有又一反射镜座，反射镜座和分束镜座均能活动，以能带动设置在其上的光学镜片发生前后俯仰调节和左右俯仰调节。

2.如权利要求1所述的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，反射镜座结构和分束镜座结构均包括底板(201)和设置在底板(201)上的转接体，转接体与底板(201)连接形成为一体，转接体上设置有透射孔(203)，光学镜片(204)贴合设置在透射孔(203)上，多个底板(201)均可活动连接在主镜筒部分、副镜筒部分和光源镜筒部分，反射镜座上设置的光学镜片为反射镜，分束镜座上设置的光学镜片为分束镜。

3.如权利要求2所述的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，转接体为柱状结构，其底面为台阶面，台阶面的一个面贴合固体于底板(201)上，台阶面的另一个面与底板(201)相隔间距而形成缝隙，通过调节缝隙大小而能调节转接体上光学镜片(204)的角度。

4.如权利要求2所述的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，转接体为三角体支座(202)，其呈三角柱状结构，三角体支座(202)底面为台阶面，三角体支座(202)竖直固定于底板(201)上。

5.如权利要求3所述的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，底板(201)上相邻设置有两个螺纹孔，两个螺纹孔均位于在所述缝隙处，其中一个螺纹孔轴向方向上的台阶面处同样设置螺纹孔，以能使螺接件通过底板的螺纹孔螺接三角体支座(202)。

6.如权利要求5所述的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，底板(201)的相对两个侧边边缘处设置了两两相对的弧形槽孔(205)，弧形槽孔中设置有螺接件，螺接件能沿弧形槽孔调节位置。

7.如权利要求6所述的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，弧形槽孔呈弧形状，一共设置有四个弧形槽孔，同一侧以及同一边的弧形槽孔相互形成类八字状。

8.如权利要求7所述的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，主镜筒部分、副镜筒部分和光源镜筒部分分别设置有管镜主体座(2)、副镜筒固定座(3)和光源镜筒固定座(4)，管镜主体座(2)、副镜筒固定座(3)和光源镜筒固定座(4)均呈空腔状，反射镜座设置在副镜筒固定座(3)空腔内和光源镜筒固定座(4)空腔内，分束镜座设置在管镜主体座(2)内，反射镜座和分束镜座各自的底板通过弧形槽孔和螺接件活动连接在管镜主体座(2)、副镜筒固定座(3)和光源镜筒固定座(4)上。

9.如权利要求2所述的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，底板(201)的一侧呈圆弧状，另一侧的两个角部具有倒角。

10.如权利要求8所述的一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，其特征在于，管镜主体座(2)、副镜筒固定座(3)和光源镜筒固定座(4)各自的侧壁处设置有和底板形状匹配的安装槽，并且安装槽在安装各自的底板后具有冗余空间，以能容纳底板的转动。

技术总结本技术提供了一种多镜片可调节的大靶面管镜装置，属于微显示器检测或者晶圆半导体外观缺陷检测的领域，其包括相邻连接的主镜筒部分、副镜筒部分和光源镜筒部分，主相机设置在主镜筒部分上，副相机设置在副镜筒部分上，光源设置在光源镜筒部分上，其中，在主镜筒部分底部设置有分束镜座，在副镜筒部分设置有一反射镜座，在光源镜筒部分设置有又一反射镜座，反射镜座和分束镜座均能活动，以能带动设置在其上的光学镜片发生前后俯仰调节和左右俯仰调节。采用本技术装置可以边调试取像边调节反射镜或者分束镜的前后俯仰和左右俯仰的角度，以满足在微显示器检测或晶圆半导体检测领域的使用需求。技术研发人员：许锐,邓忠光,邓俊涛,欧昌东,郑增强受保护的技术使用者：武汉精测电子集团股份有限公司技术研发日：20231128技术公布日：2024/5/29