照明光学系统、曝光装置、照射方法及零件的制造方法与流程

本发明涉及照明光学系统、曝光装置、照射方法及零件的制造方法。

背景技术：

1、使用曝光装置(投影曝光装置)将形成在掩模(原版)上的图案转印到基板上的技术被广泛地实施。

2、在曝光装置中，经由照明光学系统将光照明在掩模上，经由投影光学系统将掩模的图案的像投影到基板上。

3、在投影光学系统中使用具有投影透镜的成像光学系统的情况下，有通过光源的亮线波谱的波长范围与投影透镜的色像差而被投影在基板上的像的分辨率下降的问题。

4、作为用来解决这样的问题的技术，在专利文献1中，记载有将带通滤波器配置在积分器透镜的光入射面侧(配置在比积分器透镜靠光源侧)，仅使被像差修正的波长的光通过。

5、现有技术文献

6、专利文献

7、专利文献1：日本特开平6-61122号公报

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、通过这样使用带通滤波器，能够某种程度抑制被投影在基板上的像的分辨率下降。

3、另一方面，近年来，配线图案等的微细化越来越进展，要求曝光精度的进一步的提高。即，谋求用来使曝光的分辨率(解析力)提高的技术。

4、鉴于以上那样的情况，本发明的目的是提供一种能够实现曝光的分辨率的提高的照明光学系统、曝光装置、照射方法及零件的制造方法。

5、用来解决课题的手段

6、为了达成上述目的，有关本发明的一技术方案的照明光学系统，是将来自光源部的光向对象物照射的照明光学系统，具备积分器光学系统、聚光透镜和带通滤波器。

7、上述积分器光学系统配置在从上述光源部射出的光的光路上，使被照射在上述对象物上的光的照度分布均匀化。

8、上述聚光透镜由多个透镜构成，将从上述积分器光学系统射出的光向上述对象物照射。

9、上述带通滤波器配置在被构成为上述聚光透镜的上述多个透镜的某些之间。

10、在该照明光学系统中，将带通滤波器配置在被构成为聚光透镜的多个透镜的某些之间。由此，能够充分地抑制带通滤波器的光的入射角度依存性的影响。结果，能够充分地发挥带通滤波器的滤波器特性。

11、通过使用本照明光学系统构成曝光装置，能够使曝光的分辨率提高。当然，能够将本照明光学系统应用于照射光的其他装置。

12、上述照明光学系统还具备光束分离器和传感器部。

13、上述光束分离器配置在从上述积分器光学系统到上述聚光透镜的光路上，将从上述积分器光学系统射出的光分割为沿着上述光路朝向上述聚光透镜行进的第1分割光和向从上述光路偏离的方向行进的第2分割光。

14、上述传感器部配置在上述第2分割光入射的位置，检测光的状态。

15、上述照明光学系统也可以将上述带通滤波器作为第1带通滤波器，还具备具有与上述第1带通滤波器相同的滤波器特性并配置在上述传感器部的光入射侧的第2带通滤波器。

16、上述带通滤波器其半值宽度也可以是10nm以下。

17、本发明的一技术方案的曝光装置包括上述照明光学系统。

18、上述照明光学系统构成为，向曝光用掩模照射光。

19、上述曝光装置也可以还具备相对于上述曝光用掩模配置在15mm以内的遮光叶片；构成为，由上述遮光叶片将被照射的光部分地遮光。

20、有关本发明的另一技术方案的曝光装置包括上述照明光学系统。

21、此外，上述曝光装置还具备遮光叶片和将从上述遮光叶片的开口部射出的光向曝光用掩模投影的遮光叶片投影光学系统。上述照明光学系统构成为，向上述遮光叶片的开口部照射光。

22、上述曝光装置也可以还具备将被照射了上述光的上述曝光用掩模的图案向曝光对象物投影的投影光学系统。

23、本发明的一技术方案的照射方法，是向对象物照射光的照射方法，包括使光从光源部射出的步骤。

24、通过配置在从上述光源部射出的光的光路上的积分器光学系统，使上述光朝向由多个透镜构成的聚光透镜射出，以使被照射在上述对象物上的光的照度分布变得均匀。

25、通过上述聚光透镜，将通过配置在上述多个透镜的某些之间的带通滤波器的光向上述对象物照射。

26、本发明的一技术方案的零件的制造方法包括使用包括上述照明光学系统的装置照射光的工序。

27、包括上述照明光学系统的装置也可以是曝光装置。在此情况下，照射上述光的工序也可以包括将曝光用掩模的图案投影的工序。另外，包括上述照明光学系统的装置也可以是没有投影光学系统的其他的曝光装置或照射光的其他装置。

28、发明效果

29、如以上这样，根据本发明，能够实现曝光的分辨率提高。

技术特征：

1.一种照明光学系统，将来自光源部的光向对象物照射，其特征在于，

2.如权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

3.如权利要求2所述的照明光学系统，其特征在于，

4.如权利要求1～3中任一项所述的照明光学系统，其特征在于，

5.一种曝光装置，是包括权利要求1所述的照明光学系统的曝光装置，其特征在于，

6.如权利要求5所述的曝光装置，其特征在于，

7.一种曝光装置，是包括权利要求1所述的照明光学系统的曝光装置，其特征在于，

8.如权利要求5～7中任一项所述的曝光装置，其特征在于，

9.一种照射方法，向对象物照射光，其特征在于，

10.一种零件的制造方法，其特征在于，

11.如权利要求10所述的零件的制造方法，其特征在于，

技术总结提供一种能够实现曝光的分辨率的提高的照明光学系统、曝光装置、照射方法及零件的制造方法。有关本发明的一形态的照明光学系统，是将来自光源部的光向对象物照射的照明光学系统，具备积分器光学系统、聚光透镜和带通滤波器。上述积分器光学系统配置在从上述光源部射出的光的光路上，使被照射在上述对象物上的光的照度分布均匀化。上述聚光透镜由多个透镜构成，将从上述积分器光学系统射出的光向上述对象物照射。上述带通滤波器配置在被构成为上述聚光透镜的上述多个透镜的某些之间。技术研发人员：大泽理,伊藤公一受保护的技术使用者：优志旺电机株式会社技术研发日：技术公布日：2024/5/29