法布里-珀罗干涉滤光器的制作方法

本发明的一个方式涉及一种法布里-珀罗干涉滤光器。

背景技术：

1、专利文献1中记载的法布里-珀罗干涉仪包括：基板；第一反射镜结构，其具有配置于基板上的下侧固定反射镜；第二反射镜结构，其具有隔着空间而与下侧固定反射镜相对的上侧可动反射镜；及牺牲层，其在第一反射镜结构与第二反射镜结构之间划定空间。在该法布里-珀罗干涉仪中，牺牲层的外侧面是露出的。另外，牺牲层的外侧面呈平面状，且与牺牲层中的与第一反射镜结构相反的一侧的表面正交，并且与第二反射镜结构的外侧面成为同一平面。

2、[现有技术文献]

3、[专利文献]

4、专利文献1：日本专利文献特表2012-528345号公报

技术实现思路

1、[发明所要解决的技术问题]

2、在如上所述的法布里-珀罗干涉仪中，由于牺牲层的外侧面是露出的，所以，光从牺牲层的外侧面入射。对于这种光而言，即便具有与对应于下侧固定反射镜与上侧可动反射镜之间的距离的波长不同的波长，也会有透过下侧固定反射镜而包含于来自法布里-珀罗干涉仪的输出光中的问题。在此情况下，输出光中的噪声增大，法布里-珀罗干涉仪的特性会劣化。

3、另外，在如上所述的法布里-珀罗干涉仪中，在第二反射镜结构被牺牲层支撑的状态下，通过静电力而使上侧可动反射镜向下侧固定反射镜侧移动。因此，在上侧可动反射镜向下侧固定反射镜侧移动时，对于第二反射镜结构中的被牺牲层支撑的区域，发生朝向上侧可动反射镜侧的作用力。然后，通过该力的反作用，应力作用于牺牲层中支撑上侧可动反射镜的区域。尤其是，在该法布里-珀罗干涉仪中，牺牲层的外侧面呈平面状，且与牺牲层中的与第一反射镜结构相反的一侧的表面正交，并且与第二反射镜结构的外侧面成为同一平面。因此，应力容易集中于牺牲层的外侧面中的第二反射镜结构侧的角部。其结果，具有在该角部产生裂痕等损伤的问题。

4、因此，本发明的一方式的目的在于，提供一种能够获得高可靠性的法布里-珀罗干涉滤光器。

5、[解决技术问题的技术手段]

6、本发明的一方式的法布里-珀罗干涉滤光器中，包括：基板，其具有第一表面；第一层，其具有配置于第一表面的第一反射镜部；第二层，其具有在相对于第一反射镜部而在与基板相反的一侧隔着空隙而与第一反射镜部相对的第二反射镜部；及中间层，其在第一层与第二层之间划定空隙；并且，中间层的外侧面以如下方式弯曲：中间层的基板侧的缘部比中间层的与基板相反的一侧的缘部在与第一表面平行的方向上位于更靠向外侧的位置，并且，第二层覆盖中间层的外侧面。

7、在该法布里-珀罗干涉滤光器中，第二层覆盖中间层的外侧面。因此，能够抑制由于光从中间层的外侧面入射而导致的来自法布里-珀罗干涉滤光器的输出光中的噪声增大。因此，能够抑制法布里-珀罗干涉滤光器的特性的劣化。然而，在该法布里-珀罗干涉滤光器中，由于第二层覆盖中间层的外侧面，因此，当第二反射镜部向第一反射镜部侧移动时，对于第二层中覆盖中间层的外侧面的区域，也发生朝向第二反射镜部侧的作用力。因此，应力容易集中于中间层的外侧面中的第二层侧的角部。在此，在该法布里-珀罗干涉滤光器中，中间层的外侧面以如下方式弯曲：中间层的基板侧的缘部比中间层的与基板相反的一侧的缘部在与第一表面平行的方向上位于更靠向外侧的位置。因此，能够在中间层的外侧面中的第二层侧的角部使应力分散。因此，能够抑制在该角部产生裂痕等的损伤。如上所述，根据该法布里-珀罗干涉滤光器，能够获得高可靠性。

8、在本发明的一方式的法布里-珀罗干涉滤光器中，也可以为，中间层的外侧面以如下方式向空隙侧呈凹状弯曲：即，中间层的基板侧的缘部比中间层的与基板相反的一侧的缘部在与第一表面平行的方向上位于更靠向外侧的位置。在此情况下，中间层的外侧面相对于第一表面的角度满足如下条件：在中间层的外侧面中的靠近基板的部分，在与第一表面垂直的方向上越靠近基板则该角度越小。由此，能够抑制第二层从中间层的外侧面中靠近基板的部分剥落。

9、在本发明的一方式的法布里-珀罗干涉滤光器中，也可以为，中间层的外侧面以如下方式弯曲：其在与第一表面垂直的方向上越靠近基板，则在与第一表面平行的方向上越远离空隙。在此情况下，中间层的外侧面在其全体上呈现：在与第一表面垂直的方向上越靠近基板，则在与第一表面平行的方向上越远离空隙。由此，能够在中间层的外侧面中的第二层侧的角部使应力进一步分散。

10、在本发明的一方式的法布里-珀罗干涉滤光器中，也可以为：第一层的外侧面比中间层的外侧面在与第一表面平行的方向上位于更靠向外侧的位置，且第二层覆盖第一层的外侧面。在此情况下，第二层超过中间层的外侧面而覆盖至第一层的外侧面，且固定于第一层的外侧面。由此，能够抑制第二层从中间层的外侧面中靠近基板的部分剥落。

11、在本发明的一方式的法布里-珀罗干涉滤光器中，也可以为，基板具有：在从与第一表面垂直的方向观察时比第一层的外缘位于更靠向外侧的外缘部，且第二层覆盖外缘部。在此情况下，通过第二层超过第一层的外缘而覆盖至基板的外缘部，而将第一层固定于基板侧。由此，能够抑制第一层从基板侧剥落。

12、在本发明的一方式的法布里-珀罗干涉滤光器中，也可以为，第一层的外侧面以如下方式弯曲：其在与第一表面垂直的方向上越靠近基板，则在与第一表面平行的方向上越远离空隙。在此情况下，第二层更牢固地固定于第一层的外侧面。由此，能够更确实地抑制第二层从中间层的外侧面中靠近基板的部分剥落。

13、本发明的一方式的法布里-珀罗干涉滤光器中，也可以进一步具备配置于基板上的与第一表面相对的第二表面的第三层。在此情况下，能够减少因基板的第一表面侧与第二表面侧之间的层结构的不一致而导致的应力，因此，能够进一步抑制中间层中的应力的集中。

14、[发明效果]

15、根据本发明的一方式能够提供一种能够获得高可靠性的法布里-珀罗干涉滤光器。

技术特征：

1.一种法布里-珀罗干涉滤光器，其中，

2.如权利要求1所述的法布里-珀罗干涉滤光器，其中，

3.如权利要求1或2所述的法布里-珀罗干涉滤光器，其中，

4.如权利要求1至3中的任一项所述的法布里-珀罗干涉滤光器，其中，

5.如权利要求1至4中的任一项所述的法布里-珀罗干涉滤光器，其中，

技术总结本发明的法布里‑珀罗干涉滤光器(1)包括：基板(11)，其具有第一表面(11a)；第一积层体(22)，其具有配置于第一表面(11a)的第一反射镜部(31)；第二积层体(24)，其具有在相对于第一反射镜部(31)而在与基板(11)相反的一侧隔着空隙(S)而与第一反射镜部(31)相对的第二反射镜部(32)；及中间层(23)，其在第一积层体(22)与第二积层体(24)之间划定空隙(S)。中间层(23)的外侧面(23b)以如下方式弯曲：中间层(23)的基板(11)侧的缘部比中间层(23)的与基板(11)相反的一侧的缘部在与第一表面(11a)平行的方向上位于更靠向外侧的位置。第二积层体(24)覆盖中间层(23)的外侧面(23b)。技术研发人员：笠原隆,柴山胜己,广瀬真树,川合敏光,大山泰生,藏本有未受保护的技术使用者：浜松光子学株式会社技术研发日：技术公布日：2024/5/29