应用于显示面板的干燥设备的制作方法

本技术涉及显示装置制造，尤其涉及一种应用于显示面板的干燥设备。

背景技术：

1、在显示面板制造过程中，光刻工艺是一道重要工序，即将玻璃基板上的蒸镀膜层通过光刻工艺加工形成像素图案。光刻工艺包括光刻胶涂布、曝光和蚀刻等步骤。光刻胶涂布时，在玻璃基板上涂敷一层光刻胶，然后对光刻胶进行干燥处理，以去除光刻胶中的溶剂，最后剩余的光刻胶溶质即参与曝光处理。去除光刻胶中的溶剂通常分为两步，第一步，利用抽真空的方式对玻璃基板进行处理，以去除大部分溶剂。第二步，利用干燥设备对玻璃基板进行干燥处理，以去除剩余的溶剂。

2、现有的一种干燥设备参照图1所示，其包括壳体1′、腔室门2′、气缸3′和抽气组件4′。其中，壳体1′内部具有用于容纳玻璃基板的处理腔室10′。腔室门2′与壳体1′转动连接，并用于封堵处理腔室10′的开口。气缸3′安装在壳体1′上，其输出端与腔室门2′连接，通过气缸3′的伸缩运动以驱动腔室门2′关闭或开启。干燥处理时，将玻璃基板放置在处理腔室10′内并关闭腔室门2′。处理腔室10′内设置有加热器，用于对处理腔室10′内的空气进行加热，光刻胶中的溶剂受热蒸发至空气中。抽气组件4′设置于壳体1′的顶部，抽气组件4′用于抽走处理腔室10′内的空气，并将含有光刻胶溶剂的空气排出。

3、现有技术存在以下不足：1)、由于气缸3′频繁的进行伸缩运动，以及腔室门2′频繁的进行转动，导致运动区域容易因摩擦而产生异物，异物随气流进入处理腔室10′内。当异物落在玻璃基板上时，会导致玻璃基板产生不良。2)、抽气组件4′抽走的气体温度降低，导致气体中的光刻胶溶剂液化并流回处理腔室10′，液化的光刻胶溶剂落到玻璃基板上直接影响光刻胶溶剂的去除效果。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提出一种应用于显示面板的干燥设备，其可避免异物进入处理腔室导致显示面板产生不良，保证光刻胶溶剂的去除质量。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、提供的一种应用于显示面板的干燥设备，包括：

4、壳体，所述壳体内具有用于对显示面板进行干燥处理的处理腔室，所述处理腔室的一端设置为供所述显示面板进出的开口；

5、加热组件，所述加热组件设置于所述处理腔室背离所述开口的一端，所述加热组件用于朝向所述显示面板喷吹高温气体；

6、腔室门，所述腔室门转动设置于所述壳体上，所述腔室门用于选择性封闭所述开口；

7、吸气组件，所述吸气组件的入口端与所述腔室门连接，并使所述吸气组件与所述处理腔室连通。

8、作为应用于显示面板的干燥设备的一种优选方案，所述处理腔室背离所述开口的一侧还设置有热风腔室，所述热风腔室的腔壁上开设有多个热风孔，所述热风腔室与所述处理腔室通过所述热风孔连通，所述加热组件包括进气管和电加热件，所述电加热件安装在所述热风腔室内，所述进气管与所述热风腔室连通并用于向所述热风腔室内输入气体。

9、作为应用于显示面板的干燥设备的一种优选方案，所述腔室门上开设有与所述吸气组件连通的通孔，所述通孔靠近所述腔室门的底部。

10、作为应用于显示面板的干燥设备的一种优选方案，至少在所述处理腔室的顶面上设置有保温层。

11、作为应用于显示面板的干燥设备的一种优选方案，还包括驱动组件，所述驱动组件包括底座、旋转部和连杆，所述底座邻近于所述开口设置，所述底座内设置有电机，所述旋转部转动设置于所述底座上并与所述电机传动连接，所述连杆的两端分别与所述旋转部和所述腔室门连接。

12、作为应用于显示面板的干燥设备的一种优选方案，所述吸气组件包括第一出气管和第二出气管，所述第一出气管穿设于所述底座，所述第二出气管为软管，所述第二出气管的一端与所述腔室门连接，另一端穿过所述底座并与所述第一出气管连接。

13、作为应用于显示面板的干燥设备的一种优选方案，所述第二出气管靠近所述腔室门的一端高于靠近所述第一出气管的一端。

14、作为应用于显示面板的干燥设备的一种优选方案，所述第一出气管的出口端设置有积液装置。

15、作为应用于显示面板的干燥设备的一种优选方案，所述腔室门朝向所述处理腔室的一侧面设置有弹性垫，所述弹性垫内嵌设有磁铁。

16、作为应用于显示面板的干燥设备的一种优选方案，所述壳体内设置有多个所述处理腔室，多个所述处理腔室沿竖直方向依次排布。

17、本实用新型相比于现有技术的有益效果：

18、本实用新型的应用于显示面板的干燥设备，通过将加热组件设置在处理腔室背离腔室门的一端，以及将吸气组件设置在处理腔室靠近腔室门的一端，使得处理腔室内的气体从远离开口的一端朝向靠近开口的一端流动，即气体由内至外流动。该结构可避免干燥设备中的运动区域因运动摩擦而产生的异物通过开口进入处理腔室内，进而避免异物落入显示面板上而产生不良。同时，通过将吸气组件设置在腔室门上，可避免气体中的光刻胶溶剂因温度降低液化后回落至显示面板上，进而保证对光刻胶溶剂的去除效果。

技术特征：

1.一种应用于显示面板的干燥设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的应用于显示面板的干燥设备，其特征在于，所述处理腔室背离所述开口的一侧还设置有热风腔室，所述热风腔室的腔壁上开设有多个热风孔，所述热风腔室与所述处理腔室通过所述热风孔连通，所述加热组件包括进气管和电加热件，所述电加热件安装在所述热风腔室内，所述进气管与所述热风腔室连通并用于向所述热风腔室内输入气体。

3.根据权利要求1所述的应用于显示面板的干燥设备，其特征在于，所述腔室门上开设有与所述吸气组件连通的通孔，所述通孔靠近所述腔室门的底部。

4.根据权利要求1所述的应用于显示面板的干燥设备，其特征在于，至少在所述处理腔室的顶面上设置有保温层。

5.根据权利要求1所述的应用于显示面板的干燥设备，其特征在于，还包括驱动组件，所述驱动组件包括底座、旋转部和连杆，所述底座邻近于所述开口设置，所述底座内设置有电机，所述旋转部转动设置于所述底座上并与所述电机传动连接，所述连杆的两端分别与所述旋转部和所述腔室门连接。

6.根据权利要求5所述的应用于显示面板的干燥设备，其特征在于，所述吸气组件包括第一出气管和第二出气管，所述第一出气管穿设于所述底座，所述第二出气管为软管，所述第二出气管的一端与所述腔室门连接，另一端穿过所述底座并与所述第一出气管连接。

7.根据权利要求6所述的应用于显示面板的干燥设备，其特征在于，所述第二出气管靠近所述腔室门的一端高于靠近所述第一出气管的一端。

8.根据权利要求6所述的应用于显示面板的干燥设备，其特征在于，所述第一出气管的出口端设置有积液装置。

9.根据权利要求1至8任一项所述的应用于显示面板的干燥设备，其特征在于，所述腔室门朝向所述处理腔室的一侧面设置有弹性垫，所述弹性垫内嵌设有磁铁。

10.根据权利要求1至8任一项所述的应用于显示面板的干燥设备，其特征在于，所述壳体内设置有多个所述处理腔室，多个所述处理腔室沿竖直方向依次排布。

技术总结本技术涉及一种应用于显示面板的干燥设备，包括壳体、加热组件、腔室门和吸气组件。壳体内具有处理腔室，处理腔室的一端设置为开口。加热组件设置于处理腔室背离开口的一端，其用于向显示面板喷出高温气体。腔室门转动设置于壳体上，用于选择性封闭开口。吸气组件与腔室门连接并与处理腔室连通。通过使气体由内至外流动，以避免干燥设备中的运动区域因运动摩擦而产生的异物通过开口进入处理腔室内，进而避免异物落入显示面板上而产生不良。同时，通过将吸气组件设置在腔室门上，可避免气体中的光刻胶溶剂因温度降低液化后回落至显示面板上，进而保证对光刻胶溶剂的去除效果。技术研发人员：赵嘉昊受保护的技术使用者：乐金显示光电科技（中国）有限公司技术研发日：20230919技术公布日：2024/6/2