MEMS致动器组件结构的制作方法

本技术属于致动器领域，更具体地，涉及一种mems致动器组件结构。

背景技术：

1、随着科技的发展，现今许多电子装置皆具有照相或录像的功能。这些电子装置的使用越来越普遍，并朝着便利和轻薄化的设计方向进行发展，以提供给使用者更多的选择。传感器位移（sensor-shift）是驱动成像芯片相对于镜头做防抖运动的一种光学防抖技术，通过调整成像芯片与相机的光学镜头之间的位置来感测外部激励或干扰并对其做出反应，对焦速度更快，防抖效果更佳。

2、现有的mems致动器多数是在中间设置多个梳齿驱动区实现在两个轴上的驱动，另外封装结构通常是采用mems致动器嵌入电路板的方式，mems致动器需要与电路板及传感器分别进行机械固定连接和电连接，机械固定连接通常使用点胶工艺施加胶水连接，电连接通常使用邦线工艺固连极细铜线或金线来实现，点胶工艺和邦线工艺要分两步进行，且都较复杂。增加了mems制造工艺的流程和难度，良率降低，成本增大，操作复杂且机械强度弱。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提出一种mems致动器组件结构，将ems致动结构的梳状驱动区设置在边缘，取代了现有技术中梳状驱动区设置在中间的方式，提高驱动力，防抖效果更好。

2、为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案如下，包括：由上之下依次连接的滤光片、滤光片底座、fpcb电路板、mems致动结构、导热底座，所述滤光片底座与所述导热底座扣合为一体，形成容纳空间，所述fpcb电路板与所述mems致动结构设置于所述容纳空间内，并以叠层形式固定且电连接；

3、所述mems致动结构包括固定部、运动部、设置于所述固定部和运动部之间的梁结构，以及设置在所述运动部上方且与所述运动部固定并电连接的成像芯片；所述固定部设有封闭的外框架，所述运动部设置于所述固定部的内侧，所述运动部设有封闭的承载框架，沿所述外框架的内侧与所述承载框架的外侧之间设有多组梳状驱动区。

4、优选地，所述固定部与所述运动部之间设有连接部，每组所述梳状驱动区包括两对相对的梳状结构，每对所述相对的梳状结构包括第一梳状结构和第二梳状结构，且所述第二梳状结构设置于所述第一梳状结构之间，所述第一梳状结构具有连接到所述固定部的第一梳齿列和第二梳齿列，所述第二梳状结构具有连接到所述连接部的第三梳齿列和第四梳齿列；

5、所述第一梳齿列与所述第三梳齿列相对应，并且所述第一梳齿列的一侧端部和所述第三梳齿列的一侧端部形成相互交替布置的重叠区域，所述第二梳齿列与所述第四梳齿列相对应，并且所述第二梳齿列的一侧端部和所述第四梳齿列的一侧端部形成相互交替布置的重叠区域。

6、优选地，所述连接部包括一字型的脊，所述脊的数量与所述外框架的边数相同，且与所述外框架的边一一对应，沿每个所述脊的长度方向的两侧分别设有所述第三梳齿列和所述第四梳齿列。

7、优选地，每个所述脊中部的宽度方向设有一字型框架，靠近所述运动部的所述一字型框架的端部连接有l型框架，多个所述l型框架沿同一时针方向围绕在所述承载框架的外围。

8、优选地，靠近所述第一梳齿列的所述固定部上设有第一外曲屈梁固定端，靠近所述第二梳齿列的所述固定部上设有第一内曲屈梁固定端，靠近所述承载框架的所述固定部上设有第一电信号连接梁固定端和限位槽。

9、优选地，所述一字型框架上设有第二外曲屈梁固定端，所述l型框架上设有第二内曲屈梁固定端，所述一字型框架设有与所述限位槽的位置相对应的限位凸起，所述l型框架还设有第一解耦梁固定端。

10、优选地，所述承载框架的每条边框的外侧设有一个延伸部，所述延伸部上设有第二电信号连接梁固定端，所述承载框架外侧的拐角处设有第二解耦梁固定端。

11、优选地，所述梁结构由可恢复形变的材料制成，包括曲屈梁、解耦梁及电信号连接梁，所述曲屈梁、所述解耦梁及所述电信号连接梁均为鱼腹型结构；

12、所述曲屈梁连接于所述固定部与所述连接部之间，包括外曲屈梁与内曲屈梁，所述外曲屈梁分别通过所述第一外曲屈梁固定端及所述第二外曲屈梁固定端固定连接，所述内曲屈梁分别通过所述第一内曲屈梁固定端及所述第二内曲屈梁固定端固定连接；

13、所述解耦梁连接于所述连接部与所述固定部之间，所述解耦梁通过所述第一解耦梁固定端及所述第二解耦梁固定端固定连接；

14、所述电信号连接梁连接于所述固定部与所述运动部之间，所述电信号连接梁分别通过所述第一电信号连接梁固定端及所述第二电信号连接梁固定端固定连接，实现所述固定部与所述运动部电信号导通。

15、优选地，所述滤光片底座设有凹槽，所述滤光片设置于所述凹槽内。

16、优选地，所述成像芯片设置于所述fpcb电路板的通孔内。

17、本实用新型的有益效果在于：

18、mems致动结构的梳状驱动区设置在固定部与运动部之间，取代了现有技术中梳状驱动区列设置在中间的方式，其驱动力更大，适用于大行程防抖，防抖效果更好；mems致动结构与fpcb电路板以叠层形式设置，相较于现有技术中嵌入式的设置，其工艺简单，结构强度大。

19、本实用新型的其它特征和优点将在随后具体实施方式部分予以详细说明。

技术特征：

1.一种mems致动器组件结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的mems致动器组件结构，其特征在于，所述固定部与所述运动部之间设有连接部，每组所述梳状驱动区包括两对相对的梳状结构，每对所述相对的梳状结构包括第一梳状结构和第二梳状结构，且所述第二梳状结构设置于所述第一梳状结构之间，所述第一梳状结构具有连接到所述固定部的第一梳齿列（7）和第二梳齿列（8），所述第二梳状结构具有连接到所述连接部的第三梳齿列（17）和第四梳齿列（18）；

3.根据权利要求2所述的mems致动器组件结构，其特征在于，所述连接部包括一字型的脊（23），所述脊（23）的数量与所述外框架的边数相同，且与所述外框架的边一一对应，沿每个所述脊（23）的长度方向的两侧分别设有所述第三梳齿列（17）和所述第四梳齿列（18）。

4.根据权利要求3所述的mems致动器组件结构，其特征在于，每个所述脊（23）中部的宽度方向设有一字型框架（16），靠近所述运动部的所述一字型框架（16）的端部连接有l型框架（24），多个所述l型框架（24）沿同一时针方向围绕在所述承载框架（12）的外围。

5.根据权利要求4所述的mems致动器组件结构，其特征在于，靠近所述第一梳齿列（7）的所述固定部上设有第一外曲屈梁固定端（6），靠近所述第二梳齿列（8）的所述固定部上设有第一内曲屈梁固定端（11），靠近所述承载框架（12）的所述固定部上设有第一电信号连接梁固定端（10）和限位槽（9）。

6.根据权利要求5所述的mems致动器组件结构，其特征在于，所述一字型框架（16）上设有第二外曲屈梁固定端（19），所述l型框架（24）上设有第二内曲屈梁固定端（21），所述一字型框架（16）设有与所述限位槽（9）的位置相对应的限位凸起（20），所述l型框架（24）还设有第一解耦梁固定端（13）。

7.根据权利要求6所述的mems致动器组件结构，其特征在于，所述承载框架（12）的每条边框的外侧设有一个延伸部（15），所述延伸部（15）上设有第二电信号连接梁固定端（14），所述承载框架（12）外侧的拐角处设有第二解耦梁固定端（22）。

8.根据权利要求7所述的mems致动器组件结构，其特征在于，所述梁结构由可恢复形变的材料制成，包括曲屈梁、解耦梁（28）及电信号连接梁（27），所述曲屈梁、所述解耦梁（28）及所述电信号连接梁（27）均为鱼腹型结构；

9.根据权利要求1所述的mems致动器组件结构，其特征在于，所述滤光片底座（2）设有凹槽，所述滤光片（1）设置于所述凹槽内。

10.根据权利要求1所述的mems致动器组件结构，其特征在于，所述成像芯片设置于所述fpcb电路板（3）的通孔内。

技术总结本技术公开一种MEMS致动器组件结构，包括：夹由上之下依次封装的滤光片、滤光片底座、FPCB电路板、MEMS致动结构、导热底座，滤光片底座与导热底座扣合为一体，形成容纳空间，FPCB电路板与MEMS致动结构设置于容纳空间内，并以叠层形式固定且电连接；MEMS致动结构包括固定部、运动部、设置于固定部和运动部之间的梁结构，以及设置在运动部上方且与运动部固定并电连接的成像芯片；沿外框架的内侧与承载框架的外侧之间设有多组梳状驱动区；本技术的MEMS致动结构的梳状驱动区设置在固定部与运动部之间，取代了现有技术中梳状驱动区列设置在中间的方式，其驱动力更大，适用于大行程防抖，防抖效果更好。技术研发人员：夏风梁,孔旭东,程子豪,王忠岭,王继文,张建宇受保护的技术使用者：辽宁中蓝光电科技有限公司技术研发日：20231111技术公布日：2024/6/5