游星轮定位装置及抛光设备的制作方法

本技术涉及游星轮，尤其涉及一种游星轮定位装置及抛光设备。

背景技术：

1、抛光设备是一种用于对工件表面进行抛光的设备，常见的有单面抛光机和双面抛光机，主要用于半导体材料、蓝宝石、陶瓷、玻璃及金属平行平面零件的抛光加工。其中，双面抛光机在加工工件时，将游星轮放置在下抛光盘上，工件放置在游星轮的安装孔内，游星轮与齿圈、太阳轮啮合，并在齿圈和太阳轮的带动下带动工件做行星运动，上抛光盘压在工件上并施加一定的压力，再通过上抛光盘的流液孔源源不断的加注抛光液，以对工件进行抛光加工。

2、由于传统的双面抛光设备是操作人员手动取放工件，用人成本高，为了提高双面抛光设备的自动化程度，实现自动取放工件，相关技术中采用了机械手取放工件。

3、虽然机械手取放工件提高了双面抛光设备的自动化程度，但是由于双面抛光设备的游星轮做行星运行，导致游星轮上的工件运行轨迹也十分复杂，工件很难精确定位，而且游星轮与啮合的齿圈、太阳轮之间均存在齿侧间隙，进一步加大了精确定位的难度，这也就导致机械手在取出工件时可能出现没有对准工件的情况，在放置工件时没有准确放到游星轮上的安装孔内的情况。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种游星轮定位装置及抛光设备，该游星轮定位装置

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、一种游星轮定位装置，用于抛光设备，所述抛光设备包括游星轮、齿圈和太阳轮，所述游星轮设于所述齿圈和所述太阳轮之间，且与所述齿圈和所述太阳轮啮合，所述齿圈和所述太阳轮带动所述游星轮转动；所述游星轮定位装置包括：齿圈驱动组件，包括第一伺服电机和第一传动单元，所述第一伺服电机用于驱动所述第一传动单元转动，以使所述第一传动单元带动所述齿圈转动；太阳轮驱动组件，包括第二伺服电机和第二传动单元，所述第二伺服电机用于驱动所述第二传动单元转动，以使所述第二传动单元带动所述太阳轮转动；齿圈制动组件，设于所述抛光设备上，所述齿圈制动组件可选择地抵接所述第一传动单元，用于在所述第一伺服电机关闭的同时限制所述第一传动单元的转动；太阳轮制动组件，设于所述抛光设备上，所述太阳轮制动组件可选择地抵接所述第二传动单元，用于在所述第二伺服电机关闭的同时限制所述第二传动单元的转动；位置传感器，用于检测所述游星轮的实时位置，所述位置传感器与所述第一伺服电机、所述第二伺服电机、所述齿圈制动组件和所述太阳轮制动组件均通信连接。

4、可选地，所述第一传动单元包括：第一减速机，所述第一伺服电机的输出端连接所述第一减速机的输入端；第一传动齿轮，连接所述第一减速机的输出端；第二传动齿轮，与所述第一传动齿轮啮合，所述第二传动齿轮和所述齿圈固定连接，以带动所述齿圈转动。

5、可选地，所述第二传动单元包括：第二减速机，所述第二伺服电机的输出端连接所述第二减速机的输入端；第三传动齿轮，连接所述第二减速机的输出端；第四传动齿轮，与所述第三传动齿轮啮合，所述第四传动齿轮和所述太阳轮固定连接，以带动所述太阳轮转动。

6、可选地，所述齿圈制动组件包括：齿圈制动件，所述齿圈制动件的一端可选择地抵接所述第一传动单元；第一驱动件，所述第一驱动件的输出端连接所述齿圈制动件远离所述第一传动单元的另一端，用于驱动所述齿圈制动件移动。

7、可选地，所述齿圈制动组件还包括第一调节单元，所述第一调节单元包括第一固定件、第一连接件和第一调节螺钉；所述第一固定件固设于所述第一驱动件的本体上；所述第一连接件设于所述第一驱动件的输出端上；所述第一调节螺钉穿设于所述第一固定件和第一连接件，通过拧动所述第一调节螺钉，以使所述第一调节螺钉的头部朝靠近或远离所述第一连接件的方向移动，从而带动所述第一连接件和所述齿圈制动件移动，调节所述第一驱动件的输出端的伸出长度。

8、可选地，所述太阳轮制动组件包括：太阳轮制动件，所述太阳轮制动件的一端可选择地抵接所述第一传动单元；第二驱动件，所述第二驱动件的输出端连接所述太阳轮制动件远离所述第二传动单元的另一端，用于驱动所述太阳轮制动件移动。

9、可选地，所述太阳轮制动组件还包括第二调节单元，所述第二调节单元包括第二固定件、第二连接件和第二调节螺钉；所述第二固定件固设于所述第二驱动件的本体上；所述第二连接件设于所述第二驱动件的输出端上；所述第二调节螺钉穿设于所述第二固定件和第二连接件，通过拧动所述第二调节螺钉，以使所述第二调节螺钉的头部朝靠近或远离所述第二连接件的方向移动，从而带动所述第二连接件和所述太阳轮制动件移动，调节所述第二驱动件的输出端的伸出长度。

10、可选地，所述游星轮定位装置还包括两个微调结构，每个所述微调结构包括第三驱动件和拨动件，所述第三驱动件用于驱动同一所述微调结构的所述拨动件；其中一个所述微调结构的所述拨动件靠近所述齿圈设置，且该所述拨动件可选择地抵接所述齿圈，以调节所述齿圈的位置；另一所述微调结构的所述拨动件靠近所述太阳轮设置，且该所述拨动件可选择地抵接所述太阳轮，以调节所述太阳轮的位置。

11、可选地，所述位置传感器为激光传感器。

12、一种抛光设备，包括上盘、下盘、游星轮、齿圈、太阳轮，以及游星轮定位装置，所述上盘、所述下盘、所述齿圈和所述太阳轮同轴设置，所述游星轮定位装置用于定位所述游星轮的位置；所述游星轮设于所述下盘，且位于所述齿圈和所述太阳轮之间，并与所述齿圈和所述太阳轮啮合，所述齿圈和所述太阳轮带动所述游星轮转动，所述游星轮用于安装待抛光工件；所述上盘可活动地盖设于所述下盘，且所述上盘和所述下盘位于所述齿圈和所述太阳轮之间；所述上盘和所述下盘可压紧所述待抛光工件。

13、本实用新型的有益效果：

14、本实用新型提供了一种游星轮定位装置及抛光设备，游星轮定位装置包括齿圈驱动组件、太阳轮驱动组件、位置传感器，以及设于抛光设备上的齿圈制动组件和太阳轮制动组件；齿圈驱动组件包括第一伺服电机和第一传动单元，第一伺服电机用于驱动第一传动单元转动，以使第一传动单元带动齿圈转动；太阳轮驱动组件包括第二伺服电机和第二传动单元，第二伺服电机用于驱动第二传动单元转动，以使第二传动单元带动太阳轮转动；齿圈制动组件可选择地抵接第一传动单元，用于在第一伺服电机关闭的同时限制第一传动单元的转动；太阳轮制动组件可选择地抵接第二传动单元，用于在第二伺服电机关闭的同时限制第二传动单元的转动；位置传感器用于检测游星轮的实时位置，位置传感器与第一伺服电机、第二伺服电机、齿圈制动组件和太阳轮制动组件均通信连接。

15、该游星轮定位装置，通过设置第一伺服电机和第二伺服电机，由于伺服电机的精度比普通电机的精度高，且伺服电机具有制动功能，有利于更加精准地控制游星轮停止转动的位置，提高游星轮停止转动后的制动可靠性，使得游星轮转动的初始位置和停止位置保持一致，从而有利于提高工件的定位精准性，避免机械手等自动取放工装无法准确取放工件；通过设置齿圈制动组件、太阳轮制动组件和位置传感器，通过位置传感器检测游星轮的实时位置，以便控制齿圈制动组件和太阳轮制动组件在游星轮停止转动后限制齿圈和太阳轮继续转动，有利于进一步提高游星轮停止转动后的制动可靠性。