扩散炉炉口的密封装置及扩散炉的制作方法

本技术涉及太阳能电池和半导体装备，尤其涉及一种扩散炉炉口的密封装置及扩散炉。

背景技术：

1、在光伏行业中，高温扩散炉主要用于对硅片进行掺杂形成pn结。随着对太阳能电池片质量的要求越来越高，传统的常压高温扩散炉的掺杂均匀性已经无法满足电池片的质量要求，因此，低压扩散炉应运而生，然而低压扩散工艺需要在低于常压的环境下进行，炉门的密封性能直接影响生产质量。

2、现有技术中，低压扩散炉的炉口结构和密封通常设计为，石英管炉口端设计有石英凸台，石英凸台的端部与炉管的端部平齐，炉门设置为凹型结构，石英凸台与凹形结构适配，且石英凸台和凹形结构之间设置有密封圈，密封圈与炉门接触达到密封效果。

3、但是，在开炉出舟时，密封圈容易受到高温烘烤，导致密封圈容易老化、干裂，使用寿命较短，当影响到密封性能时则需更换密封圈，从而增加运行了成本。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种扩散炉炉口的密封装置及扩散炉，用以解决现有技术中开炉出舟时，石英凸台和炉门凹形结构之间设置的密封圈容易受到高温烘烤，导致老化、干裂的缺陷，实现避免密封圈直接受到高温烘烤，提高密封圈的使用寿命。

2、本实用新型提供一种扩散炉炉口的密封装置，包括：

3、石英管，设置于加热炉体内，所述石英管靠近炉口的一端延伸至所述加热炉体的外侧，所述石英管靠近炉口的一端向内周侧延伸有内凸台，向外周侧延伸有外凸台；且所述内凸台与所述石英管的端部之间形成凹口结构；

4、第一炉门，设置于所述凹口结构内，且所述第一炉门与所述内凸台抵接；

5、第二炉门，与所述第一炉门连接，且所述第二炉门位于所述凹口结构的外侧；

6、第一密封圈，设置于所述第二炉门和所述外凸台之间。

7、根据本实用新型提供的一种扩散炉炉口的密封装置，还包括：

8、第一水冷法兰；

9、第二水冷法兰，和所述第一水冷法兰分别位于所述外凸台的两侧；

10、第二密封圈，设置于所述第一水冷法兰和所述外凸台之间；

11、第三密封圈，设置于所述第二水冷法兰和所述外凸台之间。

12、根据本实用新型提供的一种扩散炉炉口的密封装置，所述第一水冷法兰和所述第二水冷法兰的外缘高于所述外凸台的外缘，且所述第一水冷法兰和所述第二水冷法兰之间通过刚性连接件连接。

13、根据本实用新型提供的一种扩散炉炉口的密封装置，所述第一水冷法兰和所述第二水冷法兰的内部均设置有水冷槽，所述水冷槽用于供流动冷却水通过。

14、根据本实用新型提供的一种扩散炉炉口的密封装置，还包括方法兰，所述方法兰一端与所述第二水冷法兰连接，另一端与机架连接。

15、根据本实用新型提供的一种扩散炉炉口的密封装置，所述石英管的外周还设置有保温棉，所述保温棉的一端与所述方法兰9贴合，另一端与加热炉体贴合。

16、根据本实用新型提供的一种扩散炉炉口的密封装置，所述第一炉门为石英炉门，所述第二炉门为金属炉门。

17、根据本实用新型提供的一种扩散炉炉口的密封装置，所述第一炉门和所述第二炉门之间设置有弹性连接结构。

18、根据本实用新型提供的一种扩散炉炉口的密封装置，所述弹性连接结构包括：

19、连杆，一端与所述第一炉门连接，另一端与所述第二炉门滑动连接；

20、弹性件，套设于所述连杆上，且所述弹性件位于所述第一炉门和所述第二炉门之间。

21、本实用新型还提供一种扩散炉，包括如上所述的扩散炉炉口的密封装置。

22、本实用新型提供的扩散炉炉口的密封装置，通过石英管向内周侧延伸有内凸台，向外周侧延伸有外凸台，内凸台与石英管的端部之间形成凹口结构，第一炉门设置于凹口结构内，第一炉门与内凸台抵接，第二炉门与第一炉门连接且位于凹口结构的外侧，第一密封圈设置于第二炉门与外凸台之间，在开炉出舟过程时，炉口热气首先冲向第一炉门和石英管的凹口结构，避免第一密封圈直接受到高温烘烤，防止第一密封圈因烘烤变形，提高了第一密封圈的使用寿命，延长了第一密封圈的使用周期，提高了生产效率，极大地降低了产线的运行成本。

23、本实用新型还提供一种扩散炉，由于包括如上所述的扩散炉炉口的密封装置，因此具备如上所述的各种优势。

技术特征：

1.一种扩散炉炉口的密封装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的扩散炉炉口的密封装置，其特征在于，还包括：

3.根据权利要求2所述的扩散炉炉口的密封装置，其特征在于，所述第一水冷法兰(5)和所述第二水冷法兰(6)的外缘高于所述外凸台(102)的外缘，且所述第一水冷法兰(5)和所述第二水冷法兰(6)之间通过刚性连接件连接。

4.根据权利要求2所述的扩散炉炉口的密封装置，其特征在于，所述第一水冷法兰(5)和所述第二水冷法兰(6)的内部均设置有水冷槽，所述水冷槽用于供流动冷却水通过。

5.根据权利要求2所述的扩散炉炉口的密封装置，其特征在于，还包括方法兰(9)，所述方法兰(9)一端与所述第二水冷法兰(6)连接，另一端与机架连接。

6.根据权利要求5所述的扩散炉炉口的密封装置，其特征在于，所述石英管(1)的外周还设置有保温棉(10)，所述保温棉(10)的一端与所述方法兰(9)贴合，另一端与所述加热炉体(100)贴合。

7.根据权利要求1所述的扩散炉炉口的密封装置，其特征在于，所述第一炉门(2)为石英炉门，所述第二炉门(3)为金属炉门。

8.根据权利要求1所述的扩散炉炉口的密封装置，其特征在于，所述第一炉门(2)和所述第二炉门(3)之间设置有弹性连接结构(11)。

9.根据权利要求8所述的扩散炉炉口的密封装置，其特征在于，所述弹性连接结构(11)包括：

10.一种扩散炉，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的扩散炉炉口的密封装置。

技术总结本技术涉及太阳能电池和半导体装备技术领域，提供一种扩散炉炉口的密封装置及扩散炉，其中，扩散炉炉口的密封装置包括石英管，向内周侧延伸有内凸台，向外周侧延伸有外凸台；且内凸台至石英管的端部形成凹口结构；第一炉门，设置于凹口结构内，且第一炉门与内凸台抵接；第二炉门，与第一炉门连接，且第二炉门位于凹口结构的外侧；第一密封圈，设置于第二炉门和外凸台之间。本技术在开炉出舟过程时，炉口热气首先冲向第一炉门和石英管的凹口结构，避免第一密封圈直接受到高温烘烤，防止第一密封圈因烘烤变形，提高了第一密封圈的使用寿命，延长了使用周期，提高了生产效率，极大地降低了产线的运行成本。技术研发人员：王道受保护的技术使用者：株洲三一硅能技术有限公司技术研发日：20231103技术公布日：2024/5/19