扩散炉炉口的密封装置及扩散炉的制作方法

本技术涉及太阳能电池和半导体装备，尤其涉及一种扩散炉炉口的密封装置及扩散炉。背景技术：1、在光伏行业中，高温扩散炉主要用于对硅片进行掺杂形成pn结。随着对太阳能电池片质量的要求越来越高，传统的常压高温......

2024-06-20 26

#制作方法#装置#炉炉口