一种石英管装料夹持机构的制作方法

本申请涉及单晶生长，尤其涉及一种石英管装料夹持机构。

背景技术：

1、砷化镓单晶生长是通过在单晶生长炉中添加砷与镓等物质，之后在一定的温度条件下生长出晶棒的过程。该过程中，砷与镓会放置于石英管中，再将石英管帽放进石英管中，然后抽真空并焊接石英管，最后石英管放进单晶生长炉中。

2、现有的将石英管放入单晶生长炉的方式一般是通过工作人员双手紧捏石英管壁，缓慢放置于单晶炉中，而徒手紧捏石英管壁进行放置的方式工作效率低，且存在石英管脱落破损，进而导致砷与镓等物质会泄露的风险。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请的目的是提供一种石英管装料夹持机构，用于解决现有的将石英管放置入单晶炉的方式工作效率低且存在石英管脱落风险的问题。

2、为达到上述技术目的，本申请提供一种石英管装料夹持机构，包括：支撑板、夹持架与螺栓；

3、所述夹持架包括多个，且呈圆周分布设置于所述支撑板的底部；

4、所述夹持架沿圆周径向可滑动设置；

5、所述螺栓一一对应连接所述夹持架与所述支撑板，用于推动所述夹持架滑动。

6、进一步地，所述夹持架包括：连接杆与卡接杆；

7、所述连接杆沿圆周径向可滑动连接所述支撑板；

8、所述卡接杆设置于所述连接杆的底部。

9、进一步地，所述卡接杆为u型开口状，以卡入石英管的焊缝中。

10、进一步地，所述夹持架包括两个，且对称设置于所述支撑板上。

11、进一步地，所述支撑板包括：固定板与压紧板；

12、所述固定板上设置有供所述夹持架滑动的滑动槽；

13、所述压紧板固定于所述固定板上；

14、所述螺栓的内端穿过所述压紧板并伸入所述滑动槽内抵接所述夹持架；

15、所述螺栓螺纹连接所述压紧板。

16、进一步地，所述螺栓的内端连接有压紧块。

17、进一步地，所述支撑板上设置有拉手。

18、进一步地，所述螺栓的外端设置有摩擦纹。

19、从以上技术方案可以看出，本申请提供一种石英管装料夹持机构，包括：支撑板、夹持架与螺栓；所述夹持架包括多个，且呈圆周分布设置于所述支撑板的底部；所述夹持架沿圆周径向可滑动设置；所述螺栓一一对应连接所述夹持架与所述支撑板，用于推动所述夹持架滑动。

20、本方案提供的石英管装料夹持机构可以通过夹持架将石英管夹持，并通过螺栓拧紧固定，之后工作人员可以通过支撑板将石英管提起，相比于手捏管壁的方式，可以降低石英管脱落的风险并提高搬运石英管放入单晶炉的效率，有效解决现有的将石英管放置入单晶炉的方式工作效率低且存在石英管脱落风险的问题。

技术特征：

1.一种石英管装料夹持机构，其特征在于，包括：支撑板(10)、夹持架(20)与螺栓(30)；

2.根据权利要求1所述的石英管装料夹持机构，其特征在于，所述夹持架(20)包括：连接杆(21)与卡接杆(22)；

3.根据权利要求2所述的石英管装料夹持机构，其特征在于，所述卡接杆(22)为u型开口状，以卡入石英管(40)的焊缝(41)中。

4.根据权利要求3所述的石英管装料夹持机构，其特征在于，所述夹持架(20)包括两个，且对称设置于所述支撑板(10)上。

5.根据权利要求1所述的石英管装料夹持机构，其特征在于，所述支撑板(10)包括：固定板(11)与压紧板(12)；

6.根据权利要求1或5所述的石英管装料夹持机构，其特征在于，所述螺栓(30)的内端连接有压紧块(31)。

7.根据权利要求1或5所述的石英管装料夹持机构，其特征在于，所述支撑板(10)上设置有拉手(14)。

8.根据权利要求1所述的石英管装料夹持机构，其特征在于，所述螺栓(30)的外端设置有摩擦纹。

技术总结本申请涉及单晶生长技术领域，具体公开了一种石英管装料夹持机构，包括：支撑板、夹持架与螺栓；所述夹持架包括多个，且呈圆周分布设置于所述支撑板的底部；所述夹持架沿圆周径向可滑动设置；所述螺栓一一对应连接所述夹持架与所述支撑板，用于推动所述夹持架滑动。本方案提供的石英管装料夹持机构可以通过夹持架将石英管夹持，并通过螺栓拧紧固定，之后工作人员可以通过支撑板将石英管提起，相比于手捏管壁的方式，可以降低石英管脱落的风险并提高搬运石英管放入单晶炉的效率，有效解决现有的将石英管放置入单晶炉的方式工作效率低且存在石英管脱落风险的问题。技术研发人员：崔国维,江炼金,王滔,毕宏岩受保护的技术使用者：广东先导微电子科技有限公司技术研发日：20230912技术公布日：2024/5/27