双测试工位探针台的制作方法

本技术属于探针台，特别是涉及双测试工位探针台。

背景技术：

1、探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本，目前探针台为单个测试工位，当测试时只能针对单个晶圆进行测试，效率较低。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供双测试工位探针台，解决现有的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

3、本实用新型为双测试工位探针台，包括控制箱，所述控制箱上表面安装有支撑座、第一放置台和第二放置台，所述支撑座上表面焊接有安装板，所述安装板上表面焊接有安装箱，所述安装箱上表面设置有连接槽，所述安装箱内下表面焊接有转动套筒，所述转动套筒内一侧面安装有转动轴，所述转动套筒和转动轴转动配合，所述转动轴下表面安装有电机，所述转动轴上表面焊接有螺纹杆，所述螺纹杆一侧面螺栓连接有螺纹筒，所述螺纹杆和螺纹筒转动配合。

4、优选地，所述螺纹筒一侧面焊接有限位块，所述限位块上表面设置有限位槽，所述限位槽内一侧面安装有限位杆，所述限位槽和限位杆滑动配合，所述螺纹筒上表面焊接有连接块，所述连接块一侧面焊接有延伸液压器，所述延伸液压器一侧面安装有安装块，通过安装第一放置台和第二放置台可同时存放多个晶圆，然后通过安装螺纹杆，控制电机通过转动轴可调节螺纹杆正向或反向转动，利用螺纹杆和螺纹筒螺栓连接，当螺纹杆转动时可调节螺纹筒上下移动，其中利用限位槽和限位杆滑动配合，对螺纹筒位置限制使其只能上下平移，使用时控制电机可对螺纹筒高度调节，从而调节检测头上下移动，然后利用延伸液压器可调节检测头伸出或收回，其中伸缩液压器安装在安装块两侧，可调节两侧检测头左右移动，通过调节螺纹筒、延伸液压器和伸缩液压器，可使两侧检测头同时检测第一放置台和第二放置台上晶圆，从而达到增加工作效率的效果。

5、优选地，所述安装块一侧面焊接有伸缩液压器，所述伸缩液压器一侧面安装有检测头，所述控制箱一侧面安装有显示器。

6、本实用新型具有以下有益效果：

7、本实用新型通过安装第一放置台和第二放置台可同时存放多个晶圆，然后通过安装螺纹杆，控制电机通过转动轴可调节螺纹杆正向或反向转动，利用螺纹杆和螺纹筒螺栓连接，当螺纹杆转动时可调节螺纹筒上下移动，其中利用限位槽和限位杆滑动配合，对螺纹筒位置限制使其只能上下平移，使用时控制电机可对螺纹筒高度调节，从而调节检测头上下移动，然后利用延伸液压器可调节检测头伸出或收回，其中伸缩液压器安装在安装块两侧，可调节两侧检测头左右移动，通过调节螺纹筒、延伸液压器和伸缩液压器，可使两侧检测头同时检测第一放置台和第二放置台上晶圆，从而达到增加工作效率的效果。

8、当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

技术特征：

1.双测试工位探针台，包括控制箱(1)，其特征在于：所述控制箱(1)上表面安装有支撑座(2)、第一放置台(3)和第二放置台(4)，所述支撑座(2)上表面焊接有安装板(5)，所述安装板(5)上表面焊接有安装箱(6)，所述安装箱(6)上表面设置有连接槽(7)，所述安装箱(6)内下表面焊接有转动套筒(8)，所述转动套筒(8)内一侧面安装有转动轴(9)，所述转动套筒(8)和转动轴(9)转动配合，所述转动轴(9)下表面安装有电机(10)，所述转动轴(9)上表面焊接有螺纹杆(11)，所述螺纹杆(11)一侧面螺栓连接有螺纹筒(12)，所述螺纹杆(11)和螺纹筒(12)转动配合。

2.根据权利要求1所述的双测试工位探针台，其特征在于，所述螺纹筒(12)一侧面焊接有限位块(13)，所述限位块(13)上表面设置有限位槽(14)，所述限位槽(14)内一侧面安装有限位杆(15)，所述限位槽(14)和限位杆(15)滑动配合。

3.根据权利要求2所述的双测试工位探针台，其特征在于，所述螺纹筒(12)上表面焊接有连接块(16)，所述连接块(16)一侧面焊接有延伸液压器(17)。

4.根据权利要求3所述的双测试工位探针台，其特征在于，所述延伸液压器(17)一侧面安装有安装块(18)。

5.根据权利要求4所述的双测试工位探针台，其特征在于，所述安装块(18)一侧面焊接有伸缩液压器(19)。

6.根据权利要求5所述的双测试工位探针台，其特征在于，所述伸缩液压器(19)一侧面安装有检测头(20)。

7.根据权利要求1所述的双测试工位探针台，其特征在于，所述控制箱(1)一侧面安装有显示器(21)。

技术总结本技术公开了双测试工位探针台，涉及探针台技术领域。本技术包括控制箱，控制箱上表面安装有支撑座、第一放置台和第二放置台，支撑座上表面焊接有安装板，安装板上表面焊接有安装箱。本技术通过安装第一放置台和第二放置台可同时存放多个晶圆，然后通过安装螺纹杆，控制电机通过转动轴可调节螺纹杆正向或反向转动，利用螺纹杆和螺纹筒螺栓连接，当螺纹杆转动时可调节螺纹筒上下移动，其中利用限位槽和限位杆滑动配合，对螺纹筒位置限制使其只能上下平移，使用时控制电机可对螺纹筒高度调节，从而调节检测头上下移动，然后利用延伸液压器可调节检测头伸出或收回，其中伸缩液压器安装在安装块两侧，可调节两侧检测头左右移动。技术研发人员：吴灿煌,殷小罕,张福亮受保护的技术使用者：合肥芯测半导体有限公司技术研发日：20231109技术公布日：2024/7/9