一种贴膜工装的制作方法

本申请涉及晶圆贴膜，尤其涉及一种贴膜工装。

背景技术：

1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在晶圆上可加工制作成各种电路元件结构，从而形成具有特定电性功能之半导体元件产品。在晶圆的制备过程中，工艺较为繁杂，容易对晶圆的表面造成破坏，因此，通常在晶圆的表面粘贴保护膜，保护膜通常粘贴在第一粘贴层上，保护膜背向第一粘贴层的一侧覆盖有第二粘贴层，保护膜、第一粘贴层和第二粘贴层形成复合膜，复合膜再卷成膜卷。

2、相关技术中，通常是工人滚动膜卷拉出和晶圆尺寸匹配的复合膜后，揭开第二粘贴层，再将保护膜从第一粘贴层上揭下来后，将保护膜贴在晶圆表面。

3、然而，现有的通过工人手动贴膜的方式需要将保护膜从第一粘贴层和第二粘贴层之间分离出来再粘贴到晶圆表面，工序较为复杂，费时费力，贴膜效率较低。

技术实现思路

1、本申请实施例提供了一种贴膜工装，以解决相关技术中通过工人手动贴膜的方式工序较为复杂，费时费力，贴膜效率较低的技术问题。

2、本申请实施例提供一种贴膜工装，包括：支撑机构，放卷机构、收卷机构和贴膜机构；

3、支撑机构支撑于工作台；

4、放卷机构转动设置于支撑机构，放卷机构用于带动膜卷绕放卷机构的转动轴转动；

5、收卷机构转动设置于支撑机构，支撑机构用于收集第一粘贴层；

6、贴膜机构设置于放卷机构和收卷机构的一侧，贴膜机构包括驱动组件和贴膜组件，驱动组件的一端设置于支撑机构，驱动组件的另一端向工作台方向延伸，且贴膜组件转动设置于驱动组件的另一端，粘贴有第一粘贴层的保护膜由放卷机构向贴膜组件和工作台表面之间延伸，且保护膜朝向工作台的一面设置。

7、在一种可行的实现方式中，贴膜组件包括连接件和贴膜件，连接件的一端和驱动组件可拆卸连接，连接件的另一端和贴膜件连接，贴膜件转动设置于连接件，贴膜件的转动轴线和工作台的表面相互平行设置。

8、在一种可行的实现方式中，驱动组件包括第一转动轴和配合部，第一转动轴转动设置于支撑机构，配合部设置于第一转动轴；

9、配合部设置有配合孔和连接件的配合端相互适配的配合孔。

10、在一种可行的实现方式中，配合孔设置为锥形孔，锥形孔的内径由靠近第一转动轴的一端向远离第一转动轴的一端逐渐减小。

11、在一种可行的实现方式中，放卷机构包括第二转动轴，第二转动轴的一端转动设置于支撑机构，第二转动轴的另一端用于穿入膜卷的中心孔；第二转动轴的外径由第二转动轴的一端向第二转动轴的另一端逐渐减小。

12、在一种可行的实现方式中，收卷机构包括第三转动轴和第一齿轮，第三转动轴的一端通过第一齿轮和支撑机构转动连接；

13、放卷机构还包括第二齿轮，第二转动轴的一端通过第二齿轮和支撑机构转动连接，第二齿轮和第一齿轮传动连接。

14、在一种可行的实现方式中，支撑机构转动设置有传动齿轮，第一齿轮和第二齿轮分别和传动齿轮啮合。

15、在一种可行的实现方式中，第二转动轴包括第一安装段和第二安装段，第一安装段的一端转动设置于支撑机构，第一安装段的另一端和第二安装段的一端连接，第二安装段的另一端用于穿入膜卷的中心通孔；

16、第一安装段的外径由第一安装段的一端至第一安装段的另一端逐渐减小。

17、在一种可行的实现方式中，支撑机构包括多个滚轮，多个滚轮均匀设置于支撑机构的底部。

18、本申请实施例提供了一种贴膜工装，本申请实施例通过放卷机构的设置，能够对膜卷起到固定的作用，且放卷机构能够带动膜卷绕放卷机构的转动轴转动，将第一粘贴层撕开粘贴至支撑机构以外之后，能够将粘贴有第一粘贴层的保护膜卷出并延伸至贴膜组件和工作台表面之间，由于将转动组件转动设置于驱动组件的另一端，通过转动转动组件，从而能够将保护膜压实在设置于工作台表面的晶圆表面，并将第一粘贴层向收卷机构延伸，转动收卷机构，可手机第一粘贴层，无需工人手动揭开第一粘贴层和第二粘贴层之间的保护膜，即可实现将保护膜与第一粘贴层和第二粘贴层的分离，并能够将保护膜粘贴至晶圆表面，从而简化了贴膜工序，节省了人力，提高了贴膜效率。

技术特征：

1.一种贴膜工装，其特征在于，包括：支撑机构(100)，放卷机构(200)、收卷机构(300)和贴膜机构(400)；

2.根据权利要求1所述的一种贴膜工装，其特征在于，所述贴膜组件(420)包括连接件(422)和贴膜件(421)，所述连接件(422)的一端和所述驱动组件(410)可拆卸连接，所述连接件(422)的另一端和所述贴膜件(421)连接，所述贴膜件(421)转动设置于所述连接件(422)，所述贴膜件(421)的转动轴线和所述工作台的表面相互平行设置。

3.根据权利要求2所述的一种贴膜工装，其特征在于，所述驱动组件(410)包括第一转动轴(411)和配合部(412)，所述第一转动轴(411)转动设置于所述支撑机构(100)，所述配合部(412)设置于所述第一转动轴(411)；

4.根据权利要求3所述的一种贴膜工装，其特征在于，所述配合孔设置为锥形孔，所述锥形孔的内径由靠近所述第一转动轴(411)的一端向远离所述第一转动轴(411)的一端逐渐减小。

5.根据权利要求1-3任一项所述的一种贴膜工装，其特征在于，所述放卷机构(200)包括第二转动轴(210)，所述第二转动轴(210)的一端转动设置于所述支撑机构(100)，所述第二转动轴(210)的另一端用于穿入所述膜卷的中心孔；所述第二转动轴(210)的外径由所述第二转动轴(210)的一端向所述第二转动轴(210)的另一端逐渐减小。

6.根据权利要求5所述的一种贴膜工装，其特征在于，所述收卷机构(300)包括第三转动轴(310)和第一齿轮(320)，所述第三转动轴(310)的一端通过第一齿轮(320)和所述支撑机构(100)转动连接；

7.根据权利要求6所述的一种贴膜工装，其特征在于，所述支撑机构(100)转动设置有传动齿轮(110)，所述第一齿轮(320)和所述第二齿轮(220)分别和所述传动齿轮(110)啮合。

8.根据权利要求5所述的一种贴膜工装，其特征在于，所述第二转动轴(210)包括第一安装段(211)和第二安装段(212)，所述第一安装段(211)的一端转动设置于所述支撑机构(100)，所述第一安装段(211)的另一端和所述第二安装段(212)的一端连接，所述第二安装段(212)的另一端用于穿入所述膜卷的中心通孔；

9.根据权利要求1-3任一项所述的一种贴膜工装，其特征在于，所述支撑机构(100)包括多个滚轮(120)，所述多个滚轮(120)均匀设置于所述支撑机构(100)的底部。

技术总结本申请实施例提供一种贴膜工装，包括支撑机构，放卷机构、收卷机构和贴膜机构；支撑机构支撑于工作台；放卷机构转动设置于支撑机构，放卷机构用于带动膜卷绕放卷机构的转动轴转动；收卷机构转动设置于支撑机构，支撑机构用于收集第一粘贴层；贴膜机构设置于放卷机构和收卷机构的一侧，贴膜机构包括驱动组件和贴膜组件，驱动组件的一端设置于支撑机构，驱动组件的另一端向工作台方向延伸，且贴膜组件转动设置于驱动组件的另一端，粘贴有第一粘贴层的保护膜由放卷机构向贴膜组件和工作台表面之间延伸，且保护膜朝向工作台的一面设置。通过本申请的设置提供了一种简化贴膜工序、节省人力、且贴膜效率高的贴膜工装。技术研发人员：杜科君,纪鹏飞,胡文,耿兴华受保护的技术使用者：济南晶正电子科技有限公司技术研发日：20231120技术公布日：2024/7/11