一种用于质量流量验证器的校准装置的制作方法

本技术涉及半导体，特别涉及一种用于质量流量验证器的校准装置。

背景技术：

1、在半导体的生产制造过程中，为了提高半导体性能及晶圆表面外延生长质量，需要在工艺过程中实现精准的工艺气体流量控制，并且一般选用质量流量控制器(mfc)实现对流量的控制。

2、工艺过程中由于系统长期运行，mfc会根据工艺需要频繁控制气体的通断，多次使用后，mfc会出现设定流量值与实际通过流量值产生偏差的问题，为了解决这个问题，一般在系统内会同时使用质量流量验证器(mfv)来校验和监测mfc的控制效果。

3、然而在现有技术中使用mfv来监测mfc的控制效果时还存在下列问题：

4、在mfv参与系统前，需要对mfv本身进行校准，测试其验证和计算结果的准确性，在现有技术中，对mfv的校准方案不能够满足当前工艺对mfv精度的校验要求。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种用于质量流量验证器的校准装置，用于实现更加精准的校验和调节质量流量验证器的精度。

2、为了实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现：

3、提供一种用于质量流量验证器的校准装置，包括：

4、待校准质量流量验证器，用于反馈通过所述待校准质量流量验证器的校准气体的流量大小；

5、质量流量控制器，所述质量流量控制器设置在所述待校准质量流量验证器的上游，与所述待校准质量流量验证器串联连接，用于控制通过所述待校准质量流量验证器的校准气体的流量大小；

6、质量流量计，所述质量流量计与所述待校准质量流量验证器并联，用于输出通过所述质量流量计的校准气体的流量大小。

7、进一步，还包括：

8、进气端，所述进气端设置在所述质量流量控制器上游，用于向所述校准装置内输入检漏气体和校准气体；

9、稳压阀，所述稳压阀分别与所述进气端和所述质量流量控制器串联，其中，所述进气端设置在所述稳压阀的上游，所述质量流量控制器设置在所述稳压阀的下游，用于调节从进气端输入的气体的压力；

10、泵送装置，所述泵送装置与所述待校准质量流量验证器串联，且设置在所述待校准质量流量验证器的下游，用于抽取所述校准装置内的气体。

11、进一步，所述校准装置还包括检漏装置，所述检漏装置与所述待校准质量流量验证器串联，且设置在所述待校准质量流量验证器的下游，用于输出所述校准装置的检漏结果。

12、进一步，所述校准装置还包括第一阀门，所述第一阀门串联设置在所述进气端与所述稳压阀之间。

13、进一步，所述校准装置还包括：

14、第二阀门，所述第二阀门串联设置在所述质量流量控制器与所述质量流量计之间，用于控制通过所述质量流量计的气体的通断；

15、第三阀门，所述第三阀门串联设置在所述待校准质量流量验证器与所述检漏装置之间，用于控制通过所述检漏装置的气体的通断；

16、第四阀门，所述第四阀门串联设置在所述待校准质量流量验证器与所述泵送装置之间，用于控制通过所述泵送装置的气体的通断。

17、进一步，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门均为隔膜阀。

18、进一步，所述校准装置还包括压力计，所述压力计设置在所述质量流量控制器与所述待校准质量流量验证器之间，用于测量所述质量流量控制器和所述待校准质量流量验证器之间的气体压力。

19、进一步，所述压力计为真空规。

20、进一步，所述泵送装置为真空泵。

21、进一步，所述检漏装置为氦检仪。

22、与现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

23、本实用新型并联质量流量验证器和质量流量计，通过上述两者和质量流量控制器的配合，实现更加精准的校验和调节质量流量验证器的精度。

技术特征：

1.一种用于质量流量验证器的校准装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的用于质量流量验证器的校准装置，其特征在于，还包括：

3.如权利要求2所述的用于质量流量验证器的校准装置，其特征在于，所述校准装置还包括检漏装置，所述检漏装置与所述待校准质量流量验证器串联，且设置在所述待校准质量流量验证器的下游，用于输出所述校准装置的检漏结果。

4.如权利要求3所述的用于质量流量验证器的校准装置，其特征在于，所述校准装置还包括第一阀门，所述第一阀门串联设置在所述进气端与所述稳压阀之间。

5.如权利要求4所述的用于质量流量验证器的校准装置，其特征在于，所述校准装置还包括：

6.如权利要求5所述的用于质量流量验证器的校准装置，其特征在于，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门均为隔膜阀。

7.如权利要求5所述的用于质量流量验证器的校准装置，其特征在于，所述校准装置还包括压力计，所述压力计设置在所述质量流量控制器与所述待校准质量流量验证器之间，用于测量所述质量流量控制器和所述待校准质量流量验证器之间的气体压力。

8.如权利要求7所述的用于质量流量验证器的校准装置，其特征在于，所述压力计为真空规。

9.如权利要求2所述的用于质量流量验证器的校准装置，其特征在于，所述泵送装置为真空泵。

10.如权利要求3所述的用于质量流量验证器的校准装置，其特征在于，所述检漏装置为氦检仪。

技术总结本技术提供一种用于质量流量验证器的校准装置，包括：待校准质量流量验证器，用于反馈通过所述待校准质量流量验证器的校准气体的流量大小；质量流量控制器，所述质量流量控制器设置在所述待校准质量流量验证器的上游，与所述待校准质量流量验证器串联连接，用于控制通过所述待校准质量流量验证器的校准气体的流量大小；质量流量计，所述质量流量计与所述待校准质量流量验证器并联，用于输出通过所述质量流量计的校准气体的流量大小。本技术并联质量流量验证器和质量流量计，通过上述两者和质量流量控制器的配合，能够实现更加精准的校验和调节质量流量验证器的精度。技术研发人员：陈刚,吴春龙受保护的技术使用者：江苏天芯微半导体设备有限公司技术研发日：20231124技术公布日：2024/7/11