夹持机构和清洗装置的制作方法

本申请涉及光学掩膜板清洗，特别是涉及一种夹持机构和清洗装置。

背景技术：

1、光学掩模板是一种由表面记载着图形、文字等信息的金属层薄膜和高纯度熔融石英或其它透明材质基板组合而成的光学模具，被广泛应用于用微电子加工或半导体生产曝光工序中。在清洗光学掩模板时，先用卡盘将光学掩膜板固定住，在使用清洗工具进行清洗光学掩膜板。但是现有的光学掩膜板的夹头是固定的，使得卡盘只能存放一种尺寸的光学掩膜板。因此，该光卡盘无法对应于多种尺寸的光学掩膜板。

技术实现思路

1、本申请主要解决的技术问题是提供一种夹持机构和清洗装置，解决卡盘只能加持一种尺寸的光学掩膜板的问题。

2、为解决上述技术问题，本申请采用的第一个技术方案是：提供一种夹持机构，夹持机构包括底座、齿轮和至少两组夹持部，齿轮转动设置于底座上；夹持部包括齿条和夹头；至少两个齿条阵列分布，且与齿轮啮合；齿条滑动设置于底座上，且与夹头连接；其中，齿轮带动至少两组夹持部的齿条滑动，以使得至少两组夹头相互靠近或相互远离。

3、这样一来，齿轮在正向转动时，齿轮带动啮合的至少两个齿条沿着齿轮的切线相互聚合，使得至少两个齿条带动至少两个夹头相互靠近；此时利用至少两个夹头夹持尺寸较大的待清洗体。齿轮在反向转动时，齿轮带动啮合的至少两个齿条沿着齿轮的切线相互分散，使得至少两个齿条带动至少两个夹头相互远离；此时利用至少两个夹头夹持尺寸较小的待清洗体。从而使得该夹持机构可以夹持多种尺寸的待清洗件，以解决现有技术中卡盘只能加持一种尺寸的光学掩膜板的问题。

4、在一些实施例中，底座上设置有环状的壳体，齿轮和齿条位于壳体内，夹头位于壳体外，且夹头的高度大于壳体的高度；壳体具有至少两个第一通道，且与至少两组夹持部的数量相同，夹头通过第一通道与齿条连接。

5、在一些实施例中，夹持部还包括夹臂，夹臂与夹头连接，且通过第一通道延伸至壳体内与齿条连接。

6、在一些实施例中，夹持部的数量为四组，第一通道的数量为四个，相邻两个第一通道之间的夹角为90°。相邻两个齿条的延伸方向相互垂直，夹臂包括垂直连接的第一夹臂和第二夹臂；第一夹臂与齿条连接，且与齿条垂直；第二夹臂通过第一通道与夹头连接，且与第一通道延伸方向平行。

7、在一些实施例中，第二夹臂上设置有刻度值。

8、在一些实施例中，夹头上设置有减震部。

9、在一些实施例中，夹持机构还包括转轴和驱动件；底座上设置有与齿轮的内圈同轴的通孔；转轴通过通孔插接在齿轮的内圈中；驱动件与转轴连接，用于驱动转轴转动。

10、为了解决上述技术问题，本申请提供的第二个技术方案为：提供一种清洗装置，清洗装置包括夹持机构、清洗机构和驱动装置，夹持机构用于夹持待清洗件；清洗机构用于对待清洗件清洗；驱动装置用于驱动齿轮转动。

11、在一些实施例中，驱动装置还包括转轴和驱动件；底座上设置有与齿轮的内圈同轴的通孔；转轴通过通孔插接在齿轮的内圈中；驱动件与转轴连接，用于驱动转轴转动。

12、为了解决上述技术问题，本申请提供的第三个技术方案为：提供一种清洗装置，清洗装置包括夹持机构和清洗机构，夹持机构用于夹持待清洗件；清洗机构用于对待清洗件清洗。

技术特征：

1.一种夹持机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的夹持机构，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的夹持机构，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的夹持机构，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的夹持机构，其特征在于，

8.一种清洗装置，其特征在于，包括：

9.根据权利要求8所述的清洗装置，其特征在于，

10.一种清洗装置，其特征在于，包括：

技术总结本申请提供一种夹持机构和清洗装置，解决卡盘只能加持一种尺寸的光学掩膜板的问题。夹持机构包括底座、齿轮和至少两组夹持部，齿轮转动设置于底座上；夹持部包括齿条和夹头；至少两个齿条阵列分布，且与齿轮啮合；齿条滑动设置于底座上，且与夹头连接；其中，齿轮带动至少两组夹持部的齿条滑动，以使得至少两组夹头相互靠近或相互远离。技术研发人员：牛志刚,白永智,雷健受保护的技术使用者：深圳市龙图光罩股份有限公司技术研发日：20231207技术公布日：2024/7/11