一种保护胶及蒸镀设备使用方法与流程

本申请涉及蒸镀，尤其涉及一种保护胶及蒸镀设备使用方法。

背景技术：

1、金属蒸镀机台在led(light-emitting diode)行业中广泛应用于芯片电极的蒸镀，在蒸镀金属的过程中，除了晶圆以外，机台本身的一些部件上也会附着蒸镀的金属材料。在蒸镀作业持续一段时间后，相关部件上附着的金属会逐渐变厚，为避免附着的金属影响蒸镀工艺，需要对蒸镀设备进行保养：通常是将蒸镀设备中沉积有金属的部件拆下，并送往相关专业的公司进行清洁。但这个保养维护过程费用相当昂贵且送洗周期较长，导致蒸镀设备维护的成本高。

2、因此，如何降低蒸镀设备的维护成本是目前亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、鉴于上述相关技术的不足，本申请的目的在于提供一种保护胶及蒸镀设备使用方法，旨在解决目前蒸镀设备维护成本过高的问题。

2、本申请首先提供一种保护胶，保护胶应用于对蒸镀设备中沉积影响部件的保护，沉积影响部件为蒸镀设备中在蒸镀作业过程中会沉积蒸镀材料的部件；保护胶包括：

3、60％～80％的聚氨酯树脂；以及

4、20％～40％的环氧树脂；

5、聚氨酯树脂与环氧树脂均匀混合。

6、上述保护胶，包括均匀混合的聚氨酯树脂与环氧树脂，其中聚氨酯树脂的组分为60％～80％，而环氧树脂的组分为20％～40％，该热固化胶具有在稳定性、回弹性、粘接性、绝缘性方面表现优良，同时该热固化胶还具有较好的耐化学性与耐热性。保护胶的稳定性、绝缘性以及耐热性、耐化学性使得其可以被应用于真空环境中，粘接性使得其能够粘附在蒸镀设备内的沉积影响部件上，对沉积影响部件进行保护，阻挡蒸镀材料附着在沉积影响部件上。同时因为该保护胶还具有回弹性，所以在蒸镀作业结束之后，沉积影响部件上的保护胶可直接以撕除的方式被去除，避免了沉积影响部件被拆下送往专业公司进行清洁的过程，有利于降低蒸镀设备维护的金钱成本与时间成本。同时，沉积影响部件的清除不需要使用清洗溶液，避免了清洗溶液对沉积影响部件的损伤，有利于维护蒸镀设备的可靠性。

7、可选地，保护胶中聚氨酯树脂与环氧树脂的比例为7:3。

8、基于同样的发明构思，本申请还提供一种蒸镀设备使用方法，包括：

9、进行蒸镀作业之前，于蒸镀设备的沉积影响部件的表面涂覆前述任一项的保护胶；

10、对保护胶进行固化处理形成保护胶层；

11、控制蒸镀设备进行蒸镀作业；以及

12、对保护胶层施加拉力以将保护胶层从沉积影响部件上撕除。

13、上述蒸镀设备使用方法中，在采用蒸镀设备进行蒸镀作业之前，先在蒸镀设备的沉积影响部件的表面涂覆前述保护胶，并通过对保护胶进行处理形成保护胶层。随后控制蒸镀设备进行蒸镀作业，由于蒸镀设备内的沉积影响部件的表面被保护胶层包覆，在保护胶层的阻挡遮掩下，蒸镀材料就不会附着到沉积影响部件上，而是会沉积至保护胶层上。因此在蒸镀设备蒸镀作业结束后，蒸镀设备需要进行设备维护时，可以直接通过撕除保护胶层的方式清洁沉积影响部件，避免了将沉积影响部件拆下送往专业公司进行清洁的过程，有利于降低蒸镀设备维护的金钱成本与时间成本。同时，沉积影响部件的清除不需要使用清洗溶液，避免了清洗溶液对沉积影响部件的损伤，有利于维护蒸镀设备的可靠性。

14、可选地，保护胶层具有包覆沉积影响部件的至少部分表面的主体部以及从主体部上延伸出的延伸部；对保护胶层施加拉力以将保护胶层从沉积影响部件上撕除包括：

15、对延伸部施加拉力以将保护胶层从沉积影响部件上撕除。

16、上述蒸镀设备使用方法中，形成的保护胶层具有包覆沉积影响部件表面的主体部以及与主体部连接的延伸部，在撕除保护胶层时，可向延伸部施加拉力，所以延伸部向撕除保护胶层的过程提供了着力点，方便了保护胶层的撕除工作。

17、可选地，保护胶层中包括至少两个延伸部，其中两个延伸部分别设置在主体部相对的两侧。

18、上述蒸镀设备使用方法中，两个延伸部分别设置在主体部相对的两侧，这样更方便从不同的位置施力撕除保护胶层。

19、可选地，延伸部具有与主体部连接的连接端以及与连接端相对的自由端，延伸部在连接端处的尺寸大于自由端处的尺寸，且在从连接端到自由端的方向上，延伸部的尺寸逐渐减小。

20、可选地，若蒸镀材料包括金属，则对保护胶层施加拉力以将保护胶层从沉积影响部件上撕除之后，还包括：

21、从撕下的保护胶层上进行金属回收。

22、上述蒸镀设备使用方法中，如果沉积在保护胶层上的蒸镀材料包括金属，则在撕除保护胶层之后，可以直接通过对保护胶层进行处理实现金属回收，降低生产成本。

23、可选地，沉积影响部件包括以下几种中的至少一种：衬板、火山口以及挡板。

24、可选地，保护胶层包覆沉积影响部件正面与侧面的全部区域，同时还包覆沉积影响部件背面的至少部分区域；正面为沉积影响部件上被蒸镀材料附着概率最大的一个面，背面为与正面相对的一面，侧面为连接在背面与正面之间的表面。

25、可选地，对保护胶进行固化处理形成保护胶层包括：

26、采用120～160℃的烘烤温度对保护胶进行15～25min的烘烤，使保护胶固化形成保护胶层。

技术特征：

1.一种保护胶，其特征在于，所述保护胶应用于对蒸镀设备中沉积影响部件的保护，所述沉积影响部件为所述蒸镀设备中在蒸镀作业过程中会沉积蒸镀材料的部件；所述保护胶包括：

2.如权利要求1所述的保护胶，其特征在于，所述保护胶中所述聚氨酯树脂与所述环氧树脂的比例为7:3。

3.一种蒸镀设备使用方法，其特征在于，包括：

4.如权利要求3所述的蒸镀设备使用方法，其特征在于，所述保护胶层具有包覆所述沉积影响部件的至少部分表面的主体部以及从所述主体部上延伸出的延伸部；所述对所述保护胶层施加拉力以将所述保护胶层从所述沉积影响部件上撕除包括：

5.如权利要求4所述的蒸镀设备使用方法，其特征在于，所述保护胶层中包括至少两个所述延伸部，其中两个所述延伸部分别设置在所述主体部相对的两侧。

6.如权利要求4所述的蒸镀设备使用方法，其特征在于，所述延伸部具有与所述主体部连接的连接端以及与所述连接端相对的自由端，所述延伸部在所述连接端处的尺寸大于所述自由端处的尺寸，且在从所述连接端到所述自由端的方向上，所述延伸部的尺寸逐渐减小。

7.如权利要求3至6任一项所述的蒸镀设备使用方法，其特征在于，若所述蒸镀材料包括金属，则所述对所述保护胶层施加拉力以将所述保护胶层从所述沉积影响部件上撕除之后，还包括：

8.如权利要求3至6任一项所述的蒸镀设备使用方法，其特征在于，所述沉积影响部件包括以下几种中的至少一种：衬板、火山口以及挡板。

9.如权利要求3至6任一项所述的蒸镀设备使用方法，其特征在于，所述保护胶层包覆所述沉积影响部件正面与侧面的全部区域，同时还包覆所述沉积影响部件背面的至少部分区域；所述正面为所述沉积影响部件上被蒸镀材料附着概率最大的一个面，所述背面为与所述正面相对的一面，所述侧面为连接在所述背面与所述正面之间的表面。

10.如权利要求3至6任一项所述的蒸镀设备使用方法，其特征在于，所述对所述保护胶进行固化处理形成保护胶层包括：

技术总结本申请涉及一种保护胶及蒸镀设备使用方法，在采用蒸镀设备进行蒸镀作业之前，先在蒸镀设备的沉积影响部件的表面涂覆前述保护胶，形成保护胶层。随后控制蒸镀设备进行蒸镀作业，由于蒸镀设备内的沉积影响部件的表面被保护胶层包覆，在保护胶层的阻挡遮掩下，蒸镀材料就不会附着到沉积影响部件上，而是会沉积至保护胶层上。保护胶中包括60％～80％的聚氨酯树脂与20％～40％的环氧树脂，具有良好的回弹性，所以可以直接通过撕除保护胶层的方式清洁沉积影响部件，避免了将沉积影响部件拆下送往专业公司进行清洁的过程，有利于降低蒸镀设备维护的金钱成本与时间成本。技术研发人员：柯伟,李国涛受保护的技术使用者：重庆康佳光电技术研究院有限公司技术研发日：技术公布日：2024/5/19